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专利号: 2022106147080
申请人: 重庆理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种ReS2(1‑x)Se2x肖特基结型光电探测器的制作方法,其特征在于:包括在覆盖有ReS2(1‑x)Se2x纳米多孔薄膜的P型硅晶衬底上使用蒸镀方法蒸镀银电极层。

2.根据权利要求1所述的ReS2(1‑x)Se2x肖特基结型光电探测器的制作方法,其特征在于:ReS2(1‑x)Se2x纳米多孔薄膜的厚度为0.7~100nm,银电极层的厚度为50~100nm。

3.根据权利要求1所述的ReS2(1‑x)Se2x肖特基结型光电探测器的制作方法,其特征在于:在P型硅晶衬底蒸镀时,将P型硅晶衬底放置在叉指电极掩膜板上,通过物理气相沉积装置‑4 ‑5在10 ~10 Torr低真空条件下以 的速率进行蒸镀。

4.根据权利要求1所述的ReS2(1‑x)Se2x肖特基结型光电探测器的制作方法,其特征在于:覆盖有ReS2(1‑x)Se2x纳米多孔薄膜的P型硅晶衬底由以下方法制得:(1)获取P型硅晶衬底,对P型硅晶衬底的表面进行清洗干净;

(2)获取升华硫粉,放置在加热炉的第一温区的位置,获取铼粉和碲粉,并按照(1∶2)~(1∶4)的比例混合均匀,并放置在加热炉的第二温区的位置,将P型硅晶衬底置于在铼粉和碲粉的混合物上方,并且使P型硅晶衬底的SiO2层面朝向铼粉和碲粉的混合物方向;

(3)加热炉的第二温区以14~16℃/min的升温速率加热到590~610℃,同时加热炉的第一温区升温到200~220℃,在惰性气体的气氛下,持续加热使得P型硅晶衬底的SiO2层面生长出ReS2,将生长有ReS2的P型硅晶衬底冷却至室温;

(4)对加热炉进行清洁处理,获取硒粉,放置在加热炉的第一温区,然后将生长有ReS2的P型硅晶衬底放置在加热炉的第二温区,P型硅晶衬底的ReS2层面朝上设置;

(5)加热炉的第一温区加热至850~870℃,同时加热炉的第二温区加热至280~300℃,并且在氢气浓度为4~6%的惰性气体气氛下加热,直至P型硅晶衬底的SiO2层面生长出ReS2(1‑x)Se2x纳米多孔薄膜。

5.根据权利要求4所述的ReS2(1‑x)Se2x肖特基结型光电探测器的制作方法,其特征在于:对P型硅晶衬底的表面进行清洗时,分别用丙酮、酒精和去离子水对P型硅晶衬底进行超声清洗,取出后用氮气吹干至恒重,然后用紫外臭氧清洗机进行清洗。

6.一种ReS2(1‑x)Se2x肖特基结型光电探测器,其特征在于:由权利要求1至5中任意一项所述的ReS2(1‑x)Se2x肖特基结型光电探测器的制作方法制得而成。