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专利号: 2021228366828
申请人: 张家港意发功率半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,包括由下至上依次层叠设置的衬底、GaN沟道层、AlGaN势垒层及表面钝化层,还包括:阳极,设置在表面钝化层上,且其底部依次穿过表面钝化层、AlGaN势垒层后与GaN沟道层相接触,所述阳极与所述GaN沟道层形成肖特基接触;

阴极,设置在表面钝化层上,且围设在所述阳极的外周,所述阴极与所述阳极之间存在间距,所述阴极的底部依次穿设表面钝化层、AlGaN势垒层后与GaN沟道层相接触,所述阴极与所述GaN沟道层形成欧姆接触。

2.根据权利要求1所述的凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,所述衬底为Si衬底,所述衬底的厚度为400‑500nm。

3.根据权利要求1所述的凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,所述GaN沟道层和AlGaN势垒层均通过金属有机化学气相沉积法制作而成。

4.根据权利要求1或3所述的凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,所述GaN沟道层的厚度为1‑2μm,AlGaN势垒层的厚度为17‑25nm。

5.根据权利要求1所述的凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,所述表面钝化层为Si3N4层。

6.根据权利要求5所述的凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,所述表面钝化层是采用了低压化学气相沉积法在AlGaN势垒层沉积而成。

7.根据权利要求1所述的凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,所述阴极与所述阳极之间的间距为5‑30μm。

8.根据权利要求1所述的凹槽型GaN基肖特基二极管,其特征在于,所述阴极,其采用的金属材料为Ti/Al/Ni/Au,金属厚度为20/120/40/50nm,所述阳极,其采用的金属材料为Ni/Au,金属厚度为50/300nm。