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专利号: 2022105148141
申请人: 电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种多周期声激励磁电天线,其特征在于,包括压电单晶衬底(100),位于压电单晶衬底之上的叉指电极(110)和反射栅(111),位于叉指电极和反射栅之上的绝缘层(120),以及位于绝缘层(120)之上的磁性层;其中,所述磁性层由正磁致伸缩薄膜(131)和负磁致伸缩薄膜(132)交替形成,所述正磁致伸缩薄膜和负磁致伸缩薄膜为长条形、与叉指电极平行且周期相等,排列的周期为半个声波长。

2.根据权利要求1所述的多周期声激励磁电天线,其特征在于,所述压电单晶衬底为石英、钽酸锂或铌酸锂,厚度为100‑500μm。

3.根据权利要求1所述的多周期声激励磁电天线,其特征在于,所述叉指电极位于压电单晶衬底之上、呈周期性排列,单个叉指的尺寸根据应用的频率和阻抗确定;叉指电极的电极长度沿压电单晶衬底的X方向,沿Y方向周期排列,排列的周期为半个声波长。

4.根据权利要求1所述的多周期声激励磁电天线,其特征在于,所述反射栅位于叉指电极两端。

5.根据权利要求1所述的多周期声激励磁电天线,其特征在于,所述绝缘层为二氧化硅、氧化铝或氧化锌,厚度为0.4‑4μm。

6.根据权利要求1所述的多周期声激励磁电天线,其特征在于,所述正磁致伸缩薄膜为铁硅硼、铁钴硅硼、铁硅硼碳或铁镓硼,负磁致伸缩薄膜为镍或铁酸镍。

7.根据权利要求1所述的多周期声激励磁电天线,其特征在于,所述叉指电极中的一个梳状电极作为输入输出电极,另一个梳状电极作为接地电极;所述正磁致伸缩薄膜位于输入输出电极正上方,负磁致伸缩薄膜位于接地电极正上方。