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专利号: 2022105148194
申请人: 电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多周期体声波磁电天线,其特征在于,包括:带空气腔(110)的支撑衬底(100);

压电薄膜(120),所述压电薄膜(120)位于空气腔之上;

磁性叉指电极,所述磁性叉指电极位于压电薄膜之上,为正磁致伸缩薄膜(131)和负磁致伸缩薄膜(132)形成的叉指结构;

所述磁性叉指电极中,单个叉指的尺寸根据所应用的频率和阻抗确定;磁性叉指电极排列的周期为半个声波长;

所述磁性叉指电极中,正磁致伸缩薄膜作为输入输出电极,负磁致伸缩薄膜作为接地电极。

2.根据权利要求1所述的多周期体声波磁电天线,其特征在于,所述支撑衬底为硅衬底、蓝宝石衬底、碳化硅衬底或氮化镓衬底,厚度为0.5mm 2mm。

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3.根据权利要求1所述的多周期体声波磁电天线,其特征在于,所述压电薄膜为氮化铝、钪掺氮化铝、氧化锌或铌酸锂,厚度为200nm 5μm。

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4.根据权利要求1所述的多周期体声波磁电天线,其特征在于,所述正磁致伸缩薄膜为铁硅硼、铁钴硅硼、铁硅硼碳或铁镓硼,所述负磁致伸缩薄膜为镍或钴。

5.根据权利要求1所述的多周期体声波磁电天线,其特征在于,所述磁性叉指电极的厚度为50 300nm。

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6.根据权利要求1所述的多周期体声波磁电天线,其特征在于,所述磁性叉指电极中,正磁致伸缩薄膜和负磁致伸缩薄膜的尺寸完全相同。