1.一种AgCuTi基复合钎料,其特征在于,按质量百分比计包括:稀土氧化物 1‑4%,余量‑6 ‑1 ‑6 ‑1为AgCuTi活性钎料;所述稀土氧化物的CTE为5×10 K 12×10 K 。
~
2.如权利要求1所述的一种AgCuTi基复合钎料,其特征在于,按质量百分比计包括:稀土氧化物 3%,余量为AgCuTi活性钎料。
3.如权利要求1或2所述的一种AgCuTi基复合钎料,其特征在于,稀土氧化物选自ZrO2、Y2O3中的一种或两种。
4.如权利要求1‑3任一项所述的一种AgCuTi基复合钎料,其特征在于,AgCuTi活性钎料中Ti的质量分数≤4.5%,优选为1.5 4.5%范围内;Ag和Cu两者中的Ag质量百分比占比在70~ ~
75%。
5.如权利要求1‑3任一项所述的一种AgCuTi基复合钎料,其特征在于,所述AgCuTi基复合钎料是以AgCuTi活性钎料粉末和稀土氧化物粉末为原料,经球磨混粉得到。
6.一种用于连接AlN陶瓷与Cu的钎焊方法,其包括:在待焊AlN陶瓷表面和待焊Cu母材表面中的至少一个上施用根据权利要求1‑3中任一项所述的AgCuTi基复合钎料,并进行焊钎。
7.如权利要求6所述的焊钎方法,其特征在于,包括如下步骤:AgCuTi基复合钎料通过胶水粘牢于待焊AlN陶瓷表面和待焊Cu母材表面之间,得到Cu母材/AgCuTi基复合钎料/AlN陶瓷装配成的三明治结构的待钎焊组件;将所述待钎焊组件在真空条件下进行钎焊连接,钎焊温度850‑900℃,钎焊保温时间为10‑30 min。
8.如权利要求7所述的焊钎方法,其特征在于,钎焊连接时采用程序升温方式将温度升至钎焊温度,随后在钎焊温度下保温,最后程序降温至室温。
9.如权利要求8所述的焊钎方法,其特征在于,所述程序升温的过程是从室温以5 15~℃/min的升温速率升至钎焊温度,所述程序降温的过程是以3 8℃/min的降温速率降温至~
250 350℃后随炉自然冷却到室温。
~
10.如权利要求7‑9任一项所述的焊钎方法,其特征在于,所述真空条件的真空度≤5×‑3
10 Pa,装配好的待钎焊组件采用钼压块使待钎焊材料之间保持紧密接触,施加压力为
0.05‑0.1MPa。