1.一种红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、在准确晶格匹配的GaAs衬底层上生长AlGaInP基外延结构,所述AlGaInP基外延结构由下而上包括:n‑InGaP蚀刻阻挡层、重掺杂n‑GaAs欧姆接触层、n‑AlGaInP层、GaInP/AlGaInP多量子阱层、p‑AlGaInP层、p‑GaP层及重掺杂p‑GaP接触层;
步骤2、对所述AlGaInP基外延结构进行刻蚀,形成直达所述重掺杂n‑GaAs欧姆接触层的N型通孔;
步骤3、在所述重掺杂p‑GaP接触层上沉积第一层P电极;
步骤4、在所述第一层P电极的表面、所述AlGaInP基外延结构的侧壁以及所述N型通孔的侧壁均沉积绝缘层;
步骤5、在所述N型通孔中沉积第一层N电极;
步骤6、沉积钝化层,对所述钝化层进行刻蚀形成N电极互连孔与P电极接触孔;
步骤7、蒸镀第二层电极;将所述第二层电极分隔为第二层N电极和第二层P电极,所述第一层N电极和所述第二层N电极通过所述N电极互连孔互相连接;
步骤8、蚀刻所述GaAs衬底层和所述n‑InGaP蚀刻阻挡层;
步骤9、对所述重掺杂n‑GaAs欧姆接触层进行选择性刻蚀,形成n‑GaAs点接触阵列;所述n‑GaAs点接触阵列包含的n‑GaAs点接触的数量、形状、尺寸均与所述N型通孔相同。
2.根据权利要求1所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,所述步骤3中的所述第一层P电极为AuZn/Ag/TiW/Pt/Ti/Pt/Ti/Pt/Ti金属堆栈层;所述AuZn/Ag/TiW/Pt/Ti/Pt/Ti/Pt/Ti金属堆栈层的总厚度为3.6~4μm。
3.根据权利要求1所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,所述重掺
19 20 ‑3
杂n‑GaAs欧姆接触层的掺杂浓度为1×10 ~1×10 cm 。
4.根据权利要求1所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,所述步骤4中的所述绝缘层由12对TiO2/SiO2组成,每层TiO2的厚度为100~150nm,每层SiO2的厚度为
50~100nm。
5.根据权利要求1所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,所述步骤5中的所述第一层N电极为AuGe/Ni/Au金属层;所述步骤6中的所述钝化层的材料为SiO2或SiNx;所述步骤7中的所述第二层电极为Cr/Pt/Au金属层。
6.根据权利要求1所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,所述步骤9中,所述n‑GaAs点接触阵列中包含的n‑GaAs点接触的数量为4~9个。
7.根据权利要求1所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,所述步骤9中,所述n‑GaAs点接触阵列中单个n‑GaAs点接触的形状为圆形,半径为1~6μm。
8.根据权利要求7所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,单个所述n‑GaAs点接触的半径为1μm,得到的红光倒装Micro‑LED芯片的光提取效率为55%。
9.根据权利要求1所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法,其特征在于,所述n‑InGaP蚀刻阻挡层的厚度为60~100nm,所述重掺杂n‑GaAs欧姆接触层的厚度为300~
400nm,所述n‑AlGaInP层的厚度为1~1.5μm,所述GaInP/AlGaInP多量子阱层的厚度为0.5~0.7μm,所述p‑AlGaInP层的厚度为0.7~0.9μm,所述p‑GaP层的厚度为4.5~5μm,所述重掺杂p‑GaP接触层的厚度为5~10nm。
10.一种红光倒装Micro‑LED芯片,其特征在于,采用如权利要求1‑9中任一项所述的红光倒装Micro‑LED芯片的制造方法得到。