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专利号: 202210043578X
申请人: 江苏穿越光电科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种嵌入量子点的全彩Micro‑LED显示芯片,其特征在于,包括驱动面板、键合在驱动面板上且阵列排布的若干RGB像素单元;

每一RGB像素单元包括三个薄膜倒装Micro‑LED芯片,分别发射红光、绿光、蓝光;

所述薄膜倒装Micro‑LED芯片的n型半导体层表面制备有纳米孔图形阵列;在红光和绿光薄膜倒装Micro‑LED芯片的纳米孔图形阵列中分别注入红色量子点和绿色量子点;

在所述薄膜倒装Micro‑LED芯片表面制备有复合介质层;所述复合介质层包括第一介质层和第二介质层;

所述第一介质层的制备采用ALD技术,其厚度为1‑3nm;所述第二介质层的制备采用PECVD技术,其厚度为5‑10nm;

第一介质层和第二介质层的折射率不同。

2.根据权利要求1所述的嵌入量子点的全彩Micro‑LED显示芯片,其特征在于,所述第一介质层和第二介质层的材料均为SiO2、Al2O3或AlON中的任一种。

3.根据权利要求2所述的嵌入量子点的全彩Micro‑LED显示芯片,其特征在于,所述纳米孔图形阵列的制备采用ICP刻蚀或纳米压印技术;所述纳米孔图形为圆柱形、圆锥形、圆台形或棱柱形中的任一种。

4.根据权利要求3所述的嵌入量子点的全彩Micro‑LED显示芯片,其特征在于,圆柱形纳米孔结构的直径为100‑500nm,深度为2‑3μm。

5.一种制备如权利要求1至4任一项所述嵌入量子点的全彩Micro‑LED显示芯片的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:提供具有完整结构的蓝光Micro‑LED外延片,所述蓝光Micro‑LED外延片结构自下而上依次包括衬底、无掺杂半导体层、n型半导体层、多量子阱有源层、p型半导体层;

S2:在所述外延片上刻蚀芯片隔离沟槽,采用ICP对所述外延片的多量子阱有源层、p型半导体层进行刻蚀,直至暴露出n型半导体层,形成直达n型半导体层的n型通孔;

S3:在所述外延片上沉积金属反射层,并刻蚀去除n型通孔中的金属反射层;

S4:在所述外延片上沉积绝缘层,刻蚀去除n型通孔中的绝缘层,并刻蚀p型电极接触沟槽,直至暴露出金属反射层;

S5:采用电子束蒸发技术在所述n型半导体层和金属反射层上沉积p电极和n电极,氮气氛围退火,形成Micro‑LED芯片晶圆片;

S6:提供驱动面板,将所述Micro‑LED芯片晶圆片键合至驱动面板表面;

S7:采用激光辐照剥离所述Micro‑LED芯片晶圆片的蓝宝石衬底;

S8:在所述n型半导体层刻蚀纳米孔图形阵列,在红光Micro‑LED芯片和绿光Micro‑LED芯片的纳米孔图形阵列中分别注入红色量子点和绿色量子点;

S9:在所述芯片上沉积第一介质层和第二介质层,在所述芯片隔离沟槽中填充吸光材料。