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专利号: 2019110770566
申请人: 广东工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、将Micro-LED芯片进行表面电荷化处理;

(2)、转移基板上预先设置了所需排布方式的电极阵列;将经步骤(1)处理的Micro-LED芯片浸没于第一溶液中;将转移基板和电极浸入第一溶液中,两者中的一者连接电源的正极,另一者连接电源的负极;转移基板与Micro-LED芯片成相反电荷;

(3)、电源通电;转移基板上的电极阵列吸附有成阵列分布的Micro-LED芯片;

(4)、将转移基板和承载基板进行倒装,使转移基板上的Micro-LED芯片与承载基板上的焊盘对准;

(5)、将Micro-LED芯片脱离转移基板表面,转移到承载基板的焊盘上;

(6)重复上述步骤(2)-(5),将多种形状的Micro-LED芯片依次转移至同一承载基板上。

2.根据权利要求1所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,所述步骤(2)中,转移基板上设有至少2种电极阵列;

各个电极阵列设有吸附工位,且不同电极阵列上的吸附工位,其形状不同;

形状相同的Micro-LED芯片吸附于对应形状的吸附工位。

3.根据权利要求2所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,所述步骤(2)中,转移基板上设有3种电极阵列;若干个Micro-LED芯片为红、蓝和绿中的一种颜色,且相同颜色的Micro-LED芯片为相同形状;

所述步骤(6)后,获得三原色Micro-LED芯片的承载基板。

4.根据权利要求1所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,所述步骤(2)中,第一溶液的上表面还分层有第二溶液;第二溶液与第一溶液互不浸润,且密度小于第一溶液;

Micro-LED芯片经第二溶液后进入第一溶液后,其外壁带有第二溶液形成的液泡。

5.根据权利要求4所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,所述步骤(2)中,转移基板为竖直状态或水平状态设置于第一溶液内,电极对应与转移基板平行。

6.根据权利要求5所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,步骤(3)处通过在第一溶液的下方通入气体。

7.根据权利要求6所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,在步骤(3)处通过在第一溶液的下方通入气体后,通过对第一溶液所在的容器进行超声处理。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,所述步骤(1)包括以下步骤:(1-1)、在Micro-LED芯片背离电极一侧的表面涂覆表面处理层;

(1-2)、将表面处理层浸泡于表面处理溶液,其中表面处理溶液内带极性有机物。

9.根据权利要求8所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,步骤(1-1)中使用环氧树脂涂覆获得表面处理层。

10.根据权利要求9所述的Micro-LED芯片的转移方法,其特征在于,所述步骤(1-2)中,若使Micro-LED芯片带正电时,极性有机物选取聚二甲基二烯丙基氯化铵、聚烯丙基胺盐酸盐和氨基芘中的一种;

若使Micro-LED芯片带负电时,极性有机物选取聚二丙烯酰胺基二甲基丙磺酸、PAZO、聚苯乙烯磺酸钠和聚丙烯酸中的一种。