1.一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器,其特征在于:包括蓝宝石的衬底(1),置于所述衬底(1)上方的β‑Ga2O3薄膜(2),置于所述β‑Ga2O3薄膜(2)上方的SSO层(3),置于所述SSO层(3)上的第一测试电极(4),置于所述SSO层(3)一侧且位于所述β‑Ga2O3薄膜(2)上的第二测试电极(5),所述β‑Ga2O3薄膜(2)与所述SSO层(3)形成β‑Ga2O3/SSO异质结,构成内界电场,所述SSO层(3)为SrSnO3,且SrSnO3需在氧气氛围中退火且进行Y元素掺杂形成Y‑O2‑SrSnO3。
2.根据权利要求1所述的一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器,其特征在于:所述β‑Ga2O3薄膜(2)的厚度为300~700nm,所述SSO层(3)的厚度为50~300nm。
3.根据权利要求2所述的一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器,其特征在于:所述β‑Ga2O3薄膜(2)的面积大于所述SSO层(3)的面积,所述SSO层(3)的面积为所述β‑Ga2O3薄膜(2)的面积的三分之二。
4.根据权利要求3所述的一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器,其特征在于:所述SSO层(3)为SrSnO3,且所述SrSnO3需在氧气氛围中退火且进行Y元素掺杂形成Y‑O2‑SrSnO3,所述退火的氧气流量为1‑100sccm,退火温度为100~900℃,退火时间5‑120min。
5.根据权利要求4所述的一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器,其特征在于:所述Y元素的掺杂量为0.01‑0.1%。
6.根据权利要求5所述的一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器,其特征在于:所述第一测试电极(4)和所述第二测试电极(5)均为Ti/Au复合电极,所述Ti/Au复合电极由Ti层和Au层构成,所述Ti层厚度为10~50nm,所述Au层厚度为10~100nm。
7.一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:将蓝宝石的衬底(1)进行预处理,分别用丙酮,无水乙醇和去离子水超声
10min,将处理后的所述衬底(1)放入沉积室内采用金属氧化物化学气相沉积法(MOCVD)生长β‑Ga2O3薄膜,形成β‑Ga2O3光吸收层,即β‑Ga2O3薄膜(2),所述MOCVD的生长沉积条件如下,三乙基镓(TEGa)和高纯O2为前驱体,高纯Ar作为载气,TEGa的气体流量为10~500sccm,工作气压为25Torr;
步骤二:在所述衬底(1)和所述β‑Ga2O3光吸收层上旋涂SSO溶液,形成SSO层(3),获得位于所述衬底(1)上的所述β‑Ga2O3/SSO异质结;
步骤三,采用磁控溅射方法在所述β‑Ga2O3/SSO异质结的所述SSO层(3)上制作Ti/Au薄膜第一测试电极(4),在所述β‑Ga2O3薄膜(2)上制作Ti/Au薄膜第二测试电极(5),形成基于氧化镓基异质结构的日盲紫外探测器。
8.根据权利要求7所述的一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器的制备方法,其特征在于:步骤二中的所述SSO溶液:将SSO粉末分散在乙二醇甲醚溶液中,超声50分钟获得分散后的SSO溶液,步骤二中的所述旋涂SSO溶液:旋转参数为500转速旋转5秒或3000转速旋转40秒。
9.根据权利要求8所述的一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器的制备方法,其‑4
特征在于:步骤三中的所述磁控溅射方法:磁控溅射工艺条件包括:真空度为1×10 Pa,衬底温度为室温,工作气氛为Ar气,工作气压为1.2Pa,溅射功率为40W,Ti层溅射时间为2分钟,Au层溅射时间为5分钟。