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专利号: 2022103459288
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,其特征在于;所述探测器基底上设有GeSe二维纳米材料感光层(4),GeSe二维纳米材料感光层(4)旋涂掺杂有GeSe二维纳米材料。

2.根据权利要求1所述的智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,其特征在于,基底上依次设有栅极电极(1)、绝缘层(2)、源漏电极(3)、GeSe二维纳米材料感光层(4)、半导体有源层(5),所述的栅极点击置于底层,由下到上依次是绝缘层(2),源漏电极(3),GeSe二维纳米材料感光层(4),半导体有源层(5),栅极电极(1)由泼墨打印形成。

3.根据权利要求1所述的智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,其特征在于;所述栅绝缘层(2)的材料为二氧化硅、氮化硅、氧化铝其中的一种。

4.根据权利要求1所述的智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,其特征在于;所述栅绝缘层(2)通过化学气相沉积、原子层沉积或磁控溅射加工形成。

5.根据权利要求1所述的智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,其特征在于:所述栅绝缘层(2)是利用旋涂、打印或点胶方法制造的PMMA或Su8溶胶凝胶的有机物栅绝缘层。

6.根据权利要求1所述的智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,其特征在于:半导体有源层(5)所用材料为硒化镉、硒化铅、硫化铅、氧化铅中的一种。

7.根据权利要求1所述的智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,使用红外光谱电流重构方法进行分光,所述方法包括三个步骤:机器学习、采样和重建。

8.根据权利要求1‑6任一项所述的智能化传感的GeSe二维纳米红外光谱探测器,其特征在于,所述红外光谱探测器加工包括如下步骤:

1)在透明玻璃上利用泼墨打印制造传感器的栅极电极,并在150度的温度下退火30分钟;

2)利用旋涂、打印或者点胶的方法制造PMMA、Su8等溶胶凝胶的有机物栅绝缘层,将其覆盖在栅极电极之上;

3)在通过校准之后,于绝缘层之上继续利用泼墨打印制造源漏电极,通过调温热台设置阶梯温度退火30分钟;

4)利用旋涂将GeSe二维纳米材料均匀分布于器件之上,重复2‑3次之后能够提高GeSe二维纳米层的感光效率;

5)最后利用磁控溅射将半导体材料覆盖于二维纳米材料感光层之上,半导体层厚度控制在60‑80nm。

9.一种红外光谱探测器的基底,其特征在于,所述基底上设有GeSe二维纳米材料感光层(4),GeSe二维纳米材料感光层(4)旋涂掺杂有GeSe二维纳米材料。

10.根据权利要求8所述的一种红外光谱探测器的基底,其特征在于,所述基底上依次设有栅极电极(1)、绝缘层(2)、源漏电极(3)、GeSe二维纳米材料感光层(4)、半导体有源层(5),所述的栅极点击置于底层,由下到上依次是绝缘层(2),源漏电极(3),GeSe二维纳米材料感光层(4),半导体有源层(5),栅极电极(1)由泼墨打印形成。