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专利号: 2021222070878
申请人: 南通天美机械有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴,包括两个轴杆(1)、滚轮组件(2)和调节组件(3),其特征在于:所述滚轮组件(2)位于轴杆(1)外表面的左右两侧;

所述滚轮组件(2)包括两个活动轮(201),两个所述活动轮(201)分别设置于两个轴杆(1)外表面相背的一侧,所述活动轮(201)的内部开设有固定槽(202),所述轴杆(1)的外表面且位于固定槽(202)的内部开设有第一弧形槽(203),所述固定槽(202)的内侧开设有与固定槽(202)位置相对应的第二弧形槽(204),所述第一弧形槽(203)和第二弧形槽(204)的内部活动安装有钢珠(205);

所述调节组件(3)位于两个轴杆(1)相对的一侧和外表面。

2.根据权利要求1所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴,其特征在于:所述钢珠(205)的数量为若干个且呈环形等距分布,所述钢珠(205)与第一弧形槽(203)和第二弧形槽(204)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴,其特征在于:所述轴杆(1)的外表面且位于活动轮(201)的左右两侧均固定安装有固定板(206),所述活动轮(201)的左右两侧均开设有环形限位槽(207)。

4.根据权利要求3所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴,其特征在于:所述固定板(206)靠近活动轮(201)的一侧固定安装有一端延伸至环形限位槽(207)内部的环形限位块(208),所述环形限位块(208)的大小与环形限位槽(207)的大小相适配。

5.根据权利要求1所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴,其特征在于:所述调节组件(3)包括卡槽(301),所述卡槽(301)设置于两个轴杆(1)相对一侧的顶部和底部,两个所述轴杆(1)相对的一侧的顶部和底部均固定安装有一端延伸至卡槽(301)内部的卡杆(302),所述卡杆(302)的大小与卡槽(301)的大小相适配。

6.根据权利要求5所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴,其特征在于:所述卡杆(302)相背一侧的左右两侧均开设有螺纹槽(303),所述螺纹槽(303)的数量为若干个且呈等距分布。

7.根据权利要求6所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴,其特征在于:所述轴杆(1)相背的一侧均活动安装有一端贯穿轴杆(1)并延伸至螺纹槽(303)内部的螺栓(304),所述螺栓(304)与螺纹槽(303)螺纹连接。