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专利号: 2021222090231
申请人: 南通天美机械有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-13
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种新型半导体清洗装置配套压紧滚轮固定轴套,包括轴套(1),其特征在于:所述轴套(1)外设有插接至轴套(1)内的辅助装配机构(2);

所述辅助装配机构(2)包括芯棒(21),所述芯棒(21)右表面固定连接有固定套筒(22),所述芯棒(21)内转动连接有调节杆(23),所述调节杆(23)右表面固定连接有位于固定套筒(22)内的第一锥齿轮(24),所述第一锥齿轮(24)外周壁啮合有数量为两个的第二锥齿轮(25),两个所述第二锥齿轮(25)相离面的一侧均固定连接有伸缩丝杆(26),所述伸缩丝杆(26)外套接有贯穿固定套筒(22)的活动套(27),所述活动套(27)远离相邻伸缩丝杆(26)的一端固定连接有卡块(28),所述卡块(28)靠近固定套筒(22)的一侧固定连接有插接至固定套筒(22)内的导杆(29)。

2.根据权利要求1所述的一种新型半导体清洗装置配套压紧滚轮固定轴套,其特征在于:所述轴套(1)包括主体(11),所述主体(11)外周壁开设有外环通油槽(12),所述轴套(1)内周壁开设有导油槽(13),所述外环通油槽(12)与导油槽(13)之间设有通油孔(14),所述轴套(1)内周壁开设有与导油槽(13)相连通的内环通油槽(15)。

3.根据权利要求1所述的一种新型半导体清洗装置配套压紧滚轮固定轴套,其特征在于:所述芯棒(21)的外径大于主体(11)的内径,所述固定套筒(22)的外径小于主体(11)的内径。

4.根据权利要求1所述的一种新型半导体清洗装置配套压紧滚轮固定轴套,其特征在于:所述芯棒(21)左表面开设有与调节杆(23)相适配的调节槽,所述调节杆(23)左表面开设有十字形对接槽。

5.根据权利要求1所述的一种新型半导体清洗装置配套压紧滚轮固定轴套,其特征在于:所述第一锥齿轮(24)转轴的轴心线与固定套筒(22)的轴心线重合,两个所述第二锥齿轮(25)关于第一锥齿轮(24)轴心中心对称。

6.根据权利要求2所述的一种新型半导体清洗装置配套压紧滚轮固定轴套,其特征在于:所述活动套(27)内周壁固定连接有与伸缩丝杆(26)螺纹连接的丝杆螺母,所述卡块(28)外周壁直径等于内环通油槽(15)内径。