1.一种晶圆清洗固定装置,包括两个支撑座(1)和用于装载晶圆本体(7)的晶圆固定机构(5),其特征在于:两个所述支撑座(1)之间转动连接有旋转支撑机构(2),其中一个所述支撑座(1)上安装有与旋转支撑机构(2)相对应的主驱动电机(3),用于驱动旋转支撑机构(2)进行旋转;
所述旋转支撑机构(2)内壁两侧转动连接有多组对称设置的夹持定位机构(4),每组所述夹持定位机构(4)之间均安装有可拆卸的晶圆固定机构(5);
所述旋转支撑机构(2)两侧均安装有一组独立的旋转驱动机构(6),用于在清洗中驱动对应的两组晶圆固定机构(5)进行旋转。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,所述旋转支撑机构(2)包括转动连接于两个支撑座(1)之间的支撑轴(201),所述支撑轴(201)的两侧均固定连接有主支撑架(202),两个所述主支撑架(202)的内侧均开设有多个凹槽(203)。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,两个所述主支撑架(202)均呈十字形结构设计,且两个主支撑架(202)与支撑轴(201)为一体式结构。
4.根据权利要求2所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,所述夹持定位机构(4)包括转动连接于主支撑架(202)上的固定轴(401),所述固定轴(401)的内侧固定连接有磁吸定位座(402),所述磁吸定位座(402)的内侧开设有轴杆固定卡槽(403),所述轴杆固定卡槽(403)的顶部倒有圆角(404),所述轴杆固定卡槽(403)的内侧壁上开设有两个对称的安装卡槽(405),两个所述安装卡槽(405)内均安装有硅胶限位组件(406)。
5.根据权利要求4所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,所述磁吸定位座(402)转动连接于对应的凹槽(203)内,所述硅胶限位组件(406)的内侧设有凸起部,其凸起部延伸至轴杆固定卡槽(403)内。
6.根据权利要求4所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,所述晶圆固定机构(5)包括两个对称设置的固定盘(501),两个所述固定盘(501)之间的底部固定连接有两个支撑杆(502),两个所述固定盘(501)外壁前后端均转动连接有旋转臂(503),水平位置上的两组旋转臂(503)之间均固定连接有活动杆(504),所述支撑杆(502)和活动杆(504)上均开设有多个均匀分布的晶圆固定卡槽(505),每个所述固定盘(501)上均开设有两个前后端对称式的圆弧槽(506),每个所述圆弧槽(506)内均固定连接有硅胶限位块(507),两个所述固定盘(501)外壁中心位置均固定连接有金属轴(508)。
7.根据权利要求6所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,两个所述活动杆(504)均能够以对应的一组旋转臂(503)进行旋转,工作状态下,两个所述活动杆(504)分别卡合于固定于对应的两组圆弧槽(506)内,进而形成对晶圆本体(7)的合围,使得晶圆本体(7)能够稳定的卡合固定于两组支撑杆(502)和活动杆(504)之间的晶圆固定卡槽(505)内。
8.根据权利要求6所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,两个所述金属轴(508)分别卡合于对应的两组轴杆固定卡槽(403)内,且金属轴(508)能够与磁吸定位座(402)磁吸固定。
9.根据权利要求2所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,所述旋转驱动机构(6)包括转动连接于主支撑架(202)外侧的第一同步轮(601)、第二同步轮(602)、驱动轮(603)和辅助轮(604),所述第一同步轮(601)、第二同步轮(602)、驱动轮(603)和辅助轮(604)之间安装有传动皮带(605),所述主支撑架(202)内侧还安装有用于驱动外侧驱动轮(603)进行旋转的伺服电机(606)。
10.根据权利要求2所述的晶圆清洗固定装置,其特征在于,两组所述旋转驱动机构(6)分别安装在两个主支撑架(202)上,两组所述旋转驱动机构(6)整体呈中心对称设置,且每组所述旋转驱动机构(6)用于驱动相邻的两组晶圆固定机构(5)进行旋转。