1.一种用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，包括在光路上顺序设置的匀光棒、照明透镜组合、反射镜组合及投影透镜组合，所述匀光棒为设置有中空腔体的条状结构，所述照明透镜组合包括同轴设置的五个透镜，所述匀光棒的纵向轴线与所述照明透镜组合的轴线同轴，所述反射镜组合包括反射镜、与所述反射镜相对设置的TIR棱镜、及设置在TIR棱镜一侧的DMD保护窗，所述投影透镜组合包括同轴设置的八个透镜，所述投影透镜组合的轴线与所述照明透镜组合的轴线平行，光线经所述中空腔体的壁面反射匀光、经所述照明透镜组合物像放大、并经所述反射镜组合的反射处理后，进一步经所述投影透镜组合物像放大后出射。

2.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，在光路上，所述反射镜组合的设置顺序为反射镜、TIR棱镜及DMD保护窗；或者在光路上，所述反射镜组合的设置顺序为TIR棱镜、DMD保护窗及反射镜。

3.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，所述照明透镜组合包括在光路上依次同轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，所述第一透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜均为凹凸透镜，所述第二透镜为双凸透镜，所述照明透镜组合的放大倍倍率为‑4.255，物方视场为4.8×0.8，物方数值孔径NA为0.16～

0.22，物像方远心度为0.1°。

4.根据权利要求3所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，在所述第二透镜和所述第三透镜之间还设置有光阑。

5.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，所述投影透镜组合包括在光路上依次同轴设置的第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜和第十三透镜，第六透镜为双凸透镜，第七透镜为凸透镜，第八透镜为凸透镜，所述第九透镜为凹透镜，所述第十透镜为凸透镜，所述第十一透镜为凹透镜，所述第十二透镜为凸透镜，所述第十三透镜为平凸透镜，所述投影透镜组合的放大倍倍率为‑1.8～‑2.75，物方视场为20.7×3.5，物方数值孔径NA为0.04，物像方远心度为0.1°。

6.根据权利要求5所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，在所述第八透镜和第九透镜之间还设置有光阑。

7.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，所述匀光棒包括本体以及设置在所述本体内部的中空腔体，所述本体包括至少三个棱柱单元，所述棱柱单元围设形成所述中空腔体，所述中空腔体的内壁镀有高反膜。

8.根据权利要求7所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，所述中空腔体的横截面形状为多边形。

9.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，所述透镜系统还包括设置在所述匀光棒的光路之前的集束光纤。

10.根据权利要求9所述的用于投影光刻机的透镜系统，其特征在于，在所述集束光纤和所述匀光棒之间还设置有中继透镜组合，所述中继透镜组合的放大倍率为‑1.4，物方视场为3.3×0.55，物方数值孔径NA为0.22，物像远心度为0.2°。