1.一种用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，包括照明透镜组合及设置在所述照明透镜组合之前的匀光棒，所述照明透镜组合包括在光路上依次同轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述第一透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜均为凹凸透镜，所述第二透镜为双凸透镜，所述匀光棒为设置有中空腔体的条状结构，所述匀光棒的纵向轴线与所述照明透镜组合的轴线同轴，光线经所述中空腔体的壁面的反射，并经过所述照明透镜组合物像放大后出射。

2.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，所述第一透镜的进光面为凹面，其弧度为‑0.59rad，所述第一透镜的出光面为凸面，其弧度为1.83rad；

所述第二透镜的进光面为凸面，其弧度为‑0.45rad，所述第二透镜的出光面为凸面，其弧度为0.44rad；

所述第三透镜的进光面为凸面，其弧度为0.40rad，所述第三透镜的出光面为凹面，其弧度为0.72rad；

所述第四透镜的进光面为凹面，其弧度为‑0.42rad，所述第四透镜的出光面为凸面，其弧度为1.24rad；

所述第五透镜的进光面为凸面，其弧度为1.17rad，所述第五透镜的出光面为凹面，其弧度为‑0.31rad。

3.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，所述第三透镜与所述第二透镜之间的间距为所述第二透镜与所述第一透镜之间的间距的4.5倍～5倍；所述第四透镜与所述第三透镜之间的间距为所述第二透镜与所述第一透镜之间的间距的0.8倍～0.9倍；所述第五透镜与所述第四透镜之间的间距为所述第二透镜与所述第一透镜之间的间距的3倍～4倍。

4.根据权利要求3所述的用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，所述照明透镜组合的放大倍倍率为‑4.255，物方数值孔径NA为0.22，物方视场为4.8×0.8。

5.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，所述匀光棒包括本体以及设置在所述本体内部的中空腔体，所述本体包括至少三个棱柱单元，所述棱柱单元围设形成所述中空腔体，所述中空腔体的内壁镀有高反膜。

6.根据权利要求5所述的用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，所述中空腔体的横截面形状为多边形。

7.根据权利要求5所述的用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，所述棱柱单元由玻璃制成。

8.根据权利要求1所述的用于投影光刻机的高均匀度的照明透镜系统，其特征在于，所述照明透镜系统还包括设置在所述匀光棒的光路之前的集束光纤。