1.一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：包括一对侧板和若干根支撑杆；

一对所述的侧板间隔的平行设置，每块所述的侧板的相同位置均开设有若干个用于贯穿支撑杆的安装孔；

在支撑杆的外周面上沿支撑杆的长度方向间隔的开设有若干列晶圆承载槽；

所述的安装孔的数量与支撑杆的数量一一对应设置；

所述的安装孔为正多边形孔，所述的支撑杆为正多边形杆，所述支撑杆上每条长度方向的侧边上均开设有一列所述的晶圆承载槽。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：在支撑杆的两端分别开设有一组锁孔，每组锁孔均由两个中部贯通且轴线相互垂直的锁孔构成，支撑杆的两端穿过侧板的安装孔后，由置于每组锁孔内的销体可将支撑杆限位在一对侧板之间。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：每块所述的侧板上均开设有三个安装孔，其中两个安装孔对称开设在侧板的顶部两侧、另外一个安装孔位于侧板的中部位置。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述的支撑杆平行的设置为三根。

5.根据权利要求1‑4中任一一项所述的一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述的支撑杆为方形杆。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆热处理用石英舟，其特征在于：所述的安装孔为方形孔。