1.一种硅片研磨装置,包括基座(10),所述基座(10)顶壁通过支撑杆(11)固定连接有机架(12),所述机架(12)靠近基座(10)一侧的侧壁上配置有研磨盘(13),其特征在于,包括:用于夹持硅片的夹持结构,所述夹持结构的一侧配置有驱动结构,所述夹持结构包括安装在基座(10)顶壁上的滑轨(31),及安装于滑轨(31)凹陷处滑动连接的第一滑块(23)和第二滑块(24),所述第一滑块(23)和第二滑块(24)的侧壁上分别开设有螺纹方向相反的第一螺纹孔(231)和第二螺纹孔(241),所述滑轨(31)凹陷处内壁通过固定套(32)转动连接有螺杆(22),所述螺杆(22)侧壁上设置有配合第一螺纹孔(231)和第二螺纹孔(241)的第二外螺纹(223)和第三外螺纹(224)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片研磨装置,其特征在于,所述第一螺纹孔(231)和第二螺纹孔(241)的大小相同,所述第一滑块(23)和第二滑块(24)距离的中心处与研磨盘(13)的中心轴处相交。
3.根据权利要求2所述的一种硅片研磨装置,其特征在于,所述第一滑块(23)和第二滑块(24)上分别固定安装有第一夹持盘(25)和第二夹持盘(26)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片研磨装置,其特征在于,所述驱动结构包括固定安装在基座(10)顶壁上的电动伸缩杆(14)及安装于电动伸缩杆(14)输出端的输出轴(21)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片研磨装置,其特征在于,所述输出轴(21)靠近螺杆(22)的一端开设有螺纹槽(211),所述螺杆(22)靠近输出轴(21)的一端设置有配合螺纹槽(211)的第一外螺纹(221)。
6.根据权利要求1所述的一种硅片研磨装置,其特征在于,所述滑轨(31)凹陷处内壁上固定安装有固定套(32),所述固定套(32)侧壁上开设有圆孔(33),所述圆孔(33)的横截面积小于螺杆(22)的横截面积,所述螺杆(22)侧壁上开设有配合圆孔(33)的凹口(222),所述圆孔(33)的中心轴与螺杆(22)的中心轴相重合。