1.一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：阀体外壳、调节电动机、密封板、从动齿轮、电机外壳以及电动机，其特征在于：所述阀体外壳的下表面安装有电机外壳，所述电机外壳的内部安装有调节电动机，所述调节电动机的上表面安装有密封板，所述阀体外壳的上表面开设有阀孔，所述阀体外壳的内部安装有密封块，所述阀体外壳的内部安装有支撑槽，所述支撑槽的内部安装有压缩弹簧，所述压缩弹簧的内侧安装有压紧钉，所述阀体外壳的内部安装有电动机，所述电动机的下表面安装有主动齿轮，所述阀体外壳的内部安装有从动齿轮。

2.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：所述调节电动机的上表面安装有调节电机轴，所述调节电机轴的上表面安装有密封板，所述调节电机轴贯穿阀体外壳的下表面，所述密封板贯穿阀孔的横截面。

3.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：所述密封块安装在阀体外壳内部下表面，并且安装在阀孔的圆周表面上，所述密封板安装在密封块的上方，所述阀孔左端和右端的阀体外壳内部分别安装有两个支撑槽，并且支撑槽安装在密封板的上方。

4.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：每个支撑槽的内部都安装有压缩弹簧，所述压紧钉共有两个，分别安装在两个压缩弹簧的内侧，并且都贯穿与其对应的支撑槽的下表面。

5.如权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于：所述从动齿轮安装在阀孔圆周表面上的阀体外壳内部，并且从动齿轮安装在压紧钉的上方，所述从动齿轮与阀孔圆周表面的阀体外壳接触面上开设有螺纹，所述阀体外壳内部的上表面安装有电动机，所述电动机的下表面安装有压紧电机轴，所述压紧电机轴的圆周表面上安装有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相互啮合，并且主动齿轮安装在从动齿轮右端面的下端。