1.一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括法兰连接盘、进液管、上固定壳、第一连接板、第二连接板以及紧固螺栓，其特征在于：所述上固定壳上侧安装有进液管，所述上固定壳下侧安装有第一连接板，所述上固定壳下侧设置有下固定壳，所述下固定壳上端面设置有第二连接板，所述第一连接板与第二连接板内部贯穿安装有紧固螺栓，所述下固定壳下侧安装有出液管，所述进液管上端面与出液管下端面安装有法兰连接盘，所述第一连接板与第二连接板内部开设有密封槽，所述密封槽内部装配有O形密封圈，所述上固定壳内部上侧设置有密封座，所述密封座内部开设有定位凹槽，所述定位凹槽内部安装有密封垫，所述上固定壳内部设置有导向滑杆，所述导向滑杆内侧设置有支承板，所述导向滑杆环形侧面下侧安装有复位弹簧，所述支承板上侧安装有定位凸块，所述定位凸块上端面设置有橡胶垫，所述导向滑杆环形侧面下侧设置有限位挡板。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，其特征在于：所述导向滑杆上下两端面设置有固定卡座，所述固定卡座规格与导向滑杆规格相匹配，所述导向滑杆通过固定卡座与上固定壳以及下固定壳固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，其特征在于：所述支承板下端面内部开设有冲击槽，所述冲击槽设置为弧形结构。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，其特征在于：所述导向滑杆、限位挡板以及复位弹簧组成了导向复位组件，导向复位组件设置有四组，且四组所述导向复位组件规格相同，四组导向复位组件对称安装于上固定壳与下固定壳之间前后左右四侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，其特征在于：所述密封槽规格与O形密封圈规格相匹配，所述第一连接板与第二连接板通过密封槽以及O形密封圈密闭连接，所述定位凹槽规格与定位凸块规格相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，其特征在于：所述法兰连接盘设置有两组，且两组所述法兰连接盘规格相同，两组所述法兰连接盘分别安装于进液管上端面与出液管下端面。