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专利号: 2023235454729
申请人: 汪国娥
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体制造设备,包括晶圆贴片机(1),其特征在于:所述晶圆贴片机(1)的内部设置有电机(2),所述电机(2)的输出端通过斜齿轮活动连接有蜗杆(3),所述蜗杆(3)的表面啮合有蜗轮(4),所述蜗轮(4)的内部固定连接有螺杆(5),所述蜗杆(3)的底部通过轴承座与晶圆贴片机(1)内壁的底部活动连接,所述螺杆(5)的两侧通过轴承座与晶圆贴片机(1)内壁的两侧活动连接,所述螺杆(5)的表面活动连接有螺套(6),所述螺套(6)的底部通过轴销活动连接有支撑杆(7),所述支撑杆(7)的底部通过轴销活动连接有支撑架(8),所述支撑架(8)的两侧均固定连接有限位块(9),所述晶圆贴片机(1)内壁的底部固定连接有限位管(10),所述晶圆贴片机(1)的底部固定连接有滚轮(11)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造设备,其特征在于:所述支撑架(8)的形状为U字形,所述支撑架(8)与晶圆贴片机(1)配合使用。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造设备,其特征在于:所述支撑架(8)的底部固定连接有防滑垫(12),所述防滑垫(12)的材质为橡胶。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制造设备,其特征在于:所述电机(2)的表面固定安装有保护壳(13),所述保护壳(13)的顶部开设有散热口(14)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制造设备,其特征在于:所述保护壳(13)的顶部固定连接有防尘罩(15),所述防尘罩(15)的材质为塑料。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制造设备,其特征在于:所述螺套(6)的内部活动连接有稳定杆(16),所述稳定杆(16)的两侧与晶圆贴片机(1)内壁的两侧固定连接。