1.一种检测模块,其特征在于,包括第一检测模组,第二检测模组和第三检测模组,第一检测模组包括第一驱动装置,第一探针和第二探针,第一驱动装置与第一探针和第二探针连接,驱动其沿Z轴运动,所述第二检测模组包括第二驱动装置和第三探针,第二驱动装置与第三探针连接,驱动其沿Z轴运动,所述第三检测模组包括第三驱动装置,第四驱动装置,第五驱动装置和第四探针,第三至第五驱动装置分别沿X轴、Y轴和Z轴设置,且与第四探针连接,驱动第四探针在X轴、Y轴和Z轴方向移动。
2.根据权利要求1所述的检测模块,其特征在于,所述第三检测模组包括第一安装板,第四探针设置在第一安装板上,第一安装板与第五驱动装置连接。
3.根据权利要求2所述的检测模块,其特征在于,所述第三检测模组包括第二安装板,所述第四驱动装置与第二安装板连接,第五驱动装置设置在第二安装板上。
4.根据权利要求3所述的检测模块,其特征在于,所述第三检测模组包括第三安装板,第三安装板与第三驱动装置连接,第四驱动装置设置在第三安装板上。
5.根据权利要求1所述的检测模块,其特征在于,所述第一驱动装置和第二驱动装置平行设置。
6.根据权利要求1所述的检测模块,其特征在于,所述第一探针和第二探针设置在第四安装板上,第四安装板与第一驱动装置连接,第三探针设置在第五安装板上,第五安装板与第二驱动装置连接。
7.一种低温测试台,包括检测台和检测模块,检测模块设置在检测台上方,其特征在于,所述检测模块为权利要求1至6中任一权利要求所述的检测模块。
8.根据权利要求7所述的低温测试台,其特征在于,所述检测模块设置在基座上,基座设置在移动模组上。
9.根据权利要求8所述的低温测试台,其特征在于,所述移动模组包括横向模组和纵向模组,所述基座设置在横向模组上,所述横向模组设置在纵向模组上。