1.一种防护型晶圆载盘，包括载盘(1)、以及位于载盘(1)上方的压环(2)，所述压环(2)上开设有放置槽(21)，所述放置槽(21)内设有能够上下活动的铝盘(3)，所述载盘(1)的顶部设有凸台(4)，其特征在于：所述凸台(4)内设置有调差防护结构(5)，所述调差防护结构(5)包括：壳体(51)，固定嵌设于凸台(4)内，所述壳体(51)的内部中空，且两端开口，所述壳体(51)的两端口分别为气流入口(511)与气流出口(512)，所述壳体(51)的顶部开设有窗口(513)；

微型电机(52)，固定于壳体(51)外；

导流件(53)，设置在气流入口(511)处并受微型电机(52)驱使下上下翻转；

气动件(54)，位于窗口(513)处，且能够根据壳体(51)内气压变化顶动铝盘(3)上下运动；

密封膜片(55)，对气动件(54)外侧的窗口(513)进行封闭。

2.根据权利要求1所述的一种防护型晶圆载盘，其特征在于：所述导流件(53)包括辊轴(531)，所述辊轴(531)与壳体(51)的内壁转动连接，所述辊轴(531)固定于微型电机(52)的输出端，所述辊轴(531)的上径向固定有导流板(532)。

3.根据权利要求2所述的一种防护型晶圆载盘，其特征在于：所述导流板(532)向气流入口(511)方向延伸。

4.根据权利要求2所述的一种防护型晶圆载盘，其特征在于：所述气动件(54)包括底板(541)，所述底板(541)的顶部固定有一对平行设置的连接板(542)，所述底板(541)的底部固定有竖直指向辊轴(531)的隔流板(543)。

5.根据权利要求4所述的一种防护型晶圆载盘，其特征在于：所述壳体(51)内固定有两限位板(514)，所述隔流板(543)滑动限位于两限位板(514)之间。

6.根据权利要求5所述的一种防护型晶圆载盘，其特征在于：所述底板(541)的边部与密封膜片(55)固定，所述密封膜片(55)的边部与窗口(513)内沿固定。

7.根据权利要求1所述的一种防护型晶圆载盘，其特征在于：所述载盘(1)及凸台(4)的一侧上开设有与气流入口(511)相通的进气孔(11)，所述载盘(1)及凸台(4)的另一侧上开设有与气流出口(512)相通的出气孔(12)。

8.根据权利要求1所述的一种防护型晶圆载盘，其特征在于：所述壳体(51)呈扁平状，所述壳体(51)两端的气流入口(511)与气流出口(512)面积相同。