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专利号: 2021204330398
申请人: 苏州新米特电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆颗粒收纳盘,包括盘体(1),所述盘体(1)内开设有若干供切割后的晶圆颗粒放置的收纳槽(2),其特征在于:所述收纳槽(2)的底壁在长度方向上斜置,所述收纳槽(2)长度方向上的两端分别为A端(21)和B端(22),且所述A端(21)与所述收纳槽(2)底壁交界处高于所述B端(22)与所述收纳槽(2)底壁交界处。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆颗粒收纳盘,其特征在于:所述A端(21)对应的所述收纳槽(2)槽壁上开设有弧形的取用槽(24)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆颗粒收纳盘,其特征在于:所述盘体(1)边缘开设有针槽(6),所述针槽(6)内置有用于撬起所述收纳槽(2)内晶圆颗粒的取用针(5),所述取用针(5)一端连接有针帽(51),所述取用针(5)另一端为半圆状。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆颗粒收纳盘,其特征在于:所述B端(22)对应的所述收纳槽(2)槽壁上连接有挡板(23),所述挡板(23)与所述收纳槽(2)底壁间的间距大于晶圆颗粒的厚度。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆颗粒收纳盘,其特征在于:所述收纳槽(2)长度方向上的两侧侧壁均连接有用于增大晶圆颗粒和所述收纳槽(2)槽壁间的摩擦力的弹性垫层(25)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆颗粒收纳盘,其特征在于:所述盘体(1)下方内侧壁设有多个嵌合块(3),所述盘体(1)上方外侧壁设有多个与所述嵌合块(3)嵌合连接的嵌合槽(31)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆颗粒收纳盘,其特征在于:所述嵌合块(3)连接于所述B端(22)对应的所述盘体(1)下方内侧壁上,所述嵌合槽(31)开设于所述B端(22)对应的所述盘体(1)上方外侧壁上。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆颗粒收纳盘,其特征在于:所述A端(21)对应的所述盘体(1)下方内侧壁上连接有多个用于增大上下两层所述盘体(1)间的摩擦力的弹性垫片(4)。