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专利号: 2020108538836
申请人: 台州市老林装饰有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2024-09-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆储存盒放置夹紧机构,包括横向输送机构(10),其特征在于:所述横向输送机构(10)的移动块(11)的顶面上固定有延伸板(12),延伸板(12)的端部顶面安装有缓冲板(13),缓冲板(13)的顶面固定有上支撑架(20),上支撑架(20)的顶板的边部顶面均固定有侧限位板(21),晶圆储存盒(100)的下部处于四个侧限位板(21)之间,晶圆储存盒(100)压靠在上支撑架(20)的顶板的顶面上固定有的多个弹性块(1)的顶面上;

所述上支撑架(20)的中部支撑板(22)的底面中部固定有提升气缸(23),提升气缸(23)的推杆穿过中间支撑板(22)的顶面并固定有推动柱(24),推动柱(24)插套在上支撑架(20)的顶板的中部通孔(25)中,推动柱(24)的顶端伸出中部通孔(25)的顶面并固定有锥形块(26),两个圆弧块体(27)处于锥形块(26)的两侧,锥形块(26)的外侧壁压靠在圆弧块体(27)的内锥形侧壁上,两个圆弧块体(27)的外侧壁的上部成型有定位弧形凸起部(271),两个圆弧块体(27)的上部插套在晶圆储存盒(100)的底面中部成型有的定位孔(101)中,定位弧形凸起部(271)嵌套在定位孔(101)的内侧壁上成型有的弧形定位槽中,圆弧块体(27)的上部外侧壁压靠在定位孔(101)的内侧壁上;

弧形定位槽(102)的下部侧壁倾斜。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构,其特征在于:所述上支撑架(20)的顶板的顶面上固定有圆环套体(28),圆环套体(28)的左右两个内侧壁上均固定有弹簧(29),两个弹簧(29)的相对一端均固定在对应的圆弧块体(27)的外侧壁上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构,其特征在于:所述圆弧块体(27)的顶面固定有上弹性限位块(2),上弹性限位块(2)的顶面紧贴定位孔(101)的顶面上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构,其特征在于:所述中间支撑板(22)的中部顶面固定有导向套(3),提升气缸(23)的推杆插套在导向套(3)中。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构,其特征在于:所述导向套(3)的内侧壁上固定有自润滑套(4),提升气缸(23)的推杆的顶端成型有连接板,推动柱(24)的底端固定在连接板的顶面上,连接板的外侧壁紧贴自润滑套(4)的内侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构,其特征在于:所述延伸板(12)的端部顶面固定有固定底板(14),固定底板(14)的顶面固定有多个缓冲弹性块(15),缓冲板(13)固定在所有缓冲弹性块(15)的顶面上。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构,其特征在于:所述横向输送机构(10)包括导向槽体(16),导向槽体(16)中插套有横向移动螺杆(17),横向移动螺杆(17)的两端通过轴承铰接在导向槽体(16)的左右两个端板上,其中一个端板的外侧壁上固定有移动电机(18),移动电机(18)带动横向移动螺杆(17)转动,横向移动螺杆(17)上螺接有移动块(11)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构,其特征在于:所述移动块(11)的底面固定有滑块(111),导向槽体(16)的底板的顶面固定有导向条(161),导向条(161)的上部插套在滑块(111)的底面中部成型有的滑槽中。