1.一种微型拖曳机器人,其特征在于:包括驱动模块(1)和功能模块(2),驱动模块(1)包括多只磁性驱动蹼(3),磁性驱动蹼(3)中镶嵌有若干磁结构(4),功能模块(2)包括拖曳装置(5)和压缩垫(6),拖曳装置(5)包括多个捕获臂(7)和磁性锁扣(8),捕获臂(7)上有若干环抱臂(9),驱动模块(1)和功能模块(2)通过缓冲膜(10)连接。
2.根据权利要求1所述的一种微型拖曳机器人,其特征在于:所述磁性驱动蹼(3)材料为柔性材料。
3.根据权利要求1所述的一种微型拖曳机器人,其特征在于:磁性驱动蹼(3)长度为10微米‑1厘米,厚度为1微米‑1毫米。
4.根据权利要求1所述的一种微型拖曳机器人,其特征在于:磁结构(4)与磁性驱动蹼(3)的相对位置为:磁结构(4)的长轴垂直于磁性驱动蹼(3)与行走面的切线。
5.根据权利要求1所述的一种微型拖曳机器人,其特征在于:所述压缩垫(6)材料为柔性材料,其强度要求为:压缩垫(6)在承受拖曳装置(5)的自然重量时0 10微米弹性形变,在~
拖曳装置(5)受磁力的作用下压缩垫(6)发生弹性形变。
6.根据权利要求1所述的一种微型拖曳机器人,其特征在于:所述磁性锁扣(8)包括软磁锁扣(801)和铁磁锁扣(802),软磁锁扣(801)材料的矫顽力小于铁磁锁扣(802)材料的矫顽力,且均大于磁结构(4)的矫顽力。
7.一种制备权利要求1到6任一项所述微型拖曳机器人的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、用电沉积或气相沉积或水热合成的方法制备形状各向异性的磁结构(4);
步骤2、在半球形凹槽中浇注出半球形模具(11),待其冷凝后在模具(11)表面包覆一层已和固化剂混合均匀的液态聚合物;
步骤3、用压力溅射的方法将磁结构(4)镶嵌在聚合物中的指定位置,并利用弱磁场(12)诱导磁结构(4)转向;
步骤4、将定形后的聚合物半球壳(13)用光刻的方法腐蚀出四只磁性驱动蹼(3);
步骤5、利用模板法和磁控溅射法制备功能模块(2),首先制备捕获臂(7)和环抱臂(9)的模板(14),模板(14)底部用水溶性基底(15)封底,将制备捕获臂(7)和环抱臂(9)的液态材料注入进模板(14),在其冷凝之前,将捕获臂(7)与压缩垫(6)粘连,待其冷凝后用去离子水溶去基底(15),将捕获臂(7)和环抱臂(9)与模板(14)分离,并将其放置在镀膜机中,在捕获臂(7)的一端镀上磁性锁扣(8),结束后将压缩垫(6)和驱动模块(1)分别粘连在缓冲膜(10)的两侧。
8.根据权利要求7所述的一种微型拖曳机器人的制备方法,其特征在于:步骤5中,捕获臂(7)与压缩垫(6)连接的一端为远离磁性锁扣(8)的一端。
9.根据权利要求7所述的一种微型拖曳机器人的制备方法,其特征在于:步骤5中,所述捕获臂(7)镀上磁性锁扣(8)的一端为靠近长度最短的环抱臂(902)的一端。