1.一种新型超细孔激光打孔系统,包括设备平台(100),其特征在于:所述设备平台(100)四周设有支柱(101),所述支柱(101)上设有光学平台(102),所述设备平台(100)上设有X轴直线滑移装置(110),所述X轴直线滑移装置(110)上设有Y轴直线滑移装置(111),所述Y轴直线滑移装置(111)上连接有工作台(112),所述支柱(101)上还设有用于控制X轴直线滑移装置(110)及Y轴直线滑移装置(111)的控制台(105),所述光学平台(102)上还设有两个Z轴直线滑移装置,所述光学平台(102)上还设有朝向两个Z轴直线滑移装置的超快激光器(200),所述两个Z轴直线滑移装置包括Z轴直线滑移装置A(104)与Z轴直线滑移装置B(103)。
2.根据权利要求1所述的一种新型超细孔激光打孔系统,其特征在于:所述两个Z轴直线滑移装置一侧还设有CCD图像识别装置(106)。
3.根据权利要求2所述的一种新型超细孔激光打孔系统,其特征在于:所述超快激光器(200)上连接有光电开关(201)及光阑(202),所述光阑(202)上连接有扩束准直镜(203),所述扩束准直镜(203)上设有反射镜A(204)和反射镜B(205),所述Z轴直线滑移装置A(104)底部设有与反射镜A(204)对应的朝向工作台(112)的锥透镜(220),所述Z轴直线滑移装置B(103)底部设有与反射镜B(205)对应的朝向工作台(112)的凸透镜(210)。
4.根据权利要求3所述的一种新型超细孔激光打孔工艺,其特征在于:包括如下步骤:D1、先将零件固定在工作台(112)上,在控制器中设定加工参数后,开始加工;
D2、控制器控制固定凸透镜(210)的Z轴直线滑移装置B(103)的CCD图像识别装置(106)识别定位零件打孔位置,然后将Z轴直线滑移装置B(103)调整到加工位置,控制反射镜偏离光路,控制超快激光器(200)输出激光束,然后打开光电开关(201),激光束经过光阑(202)、扩束准直镜(203)和反射镜,再经过凸透镜(210),在工件表面钻孔;
D3、打孔结束后,关闭光电开关(201),控制器控制工作台(112)运动到锥透镜(220)下方,通过CCD图像识别装置获取已打孔位置,并精确定位固定锥透镜(220)的Z轴直线滑移装置A(104)到打孔位置,调整Z轴直线滑移装置A(104)垂直距离,打开光电开关(201),激光束经光阑(202),扩束准直镜(203)和反射镜进入锥透镜(220),在零件上钻出超细孔,直到完成整个孔的加工;
D4、打孔结束后,关闭超快激光器(200)和光电开关(201),工作台(112)运动到设定位置,打孔结束。