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专利号: 2021103236891
申请人: 金易芯半导体科技(嘉兴)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,包括底板(1),其特征在于,底板(1)的上端安装固定安装有支撑架(21),支撑架(21)的上端固定安装有进料管(22),进料管(22)的上端固定安装有进料漏斗(23);所述进料管(22)的下端固定安装有定模(24),定模(24)的内腔呈半球形,定模(24)的内腔上端设置有第一半圆槽(242),定模(24)的开放的一侧设置有合模机构(3),合模机构(3)包括动模(35),动模(35)的内腔也呈半球形,动模(35)的内腔上端设置第二半圆槽(351),第一半圆槽(242)与第二半圆槽(351)组合形成圆孔,圆孔与进料管(22)同轴并且内径相等;

所述进料漏斗(23)的上方安装有下压机构(4),下压机构(4)包括压块(42),压块(42)与所述进料管(22)的内孔间隙配合;压块(42)的下端设置有第二球面(421),第二球面(421)所述定模(24)的内腔球形直径一致,且当压块(42)下压到最低点时,第二球面(421)的球心与定模(24)内腔的球心重合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于,所述合模机构(3)包括第一固定架(31),第一固定架(31)固定安装在所述底板(1)的上端,第一固定架(31)的上端部固定安装有第一驱动装置(34),第一驱动装置(34)的驱动轴上固定安装有第一齿轮(33),第一固定架(31)的上端部滑动连接有第一直齿(32),第一直齿(32)与第一齿轮(33)相互啮合;所述第一直齿(32)的一端与所述动模(35)固定连接;

所述定模(24)上开设有安装孔(241),安装孔(241)贯穿定模(24)的侧壁,安装孔(241)内滑动连接有销杆371,销杆371与安装孔241间隙配合;

所述销杆(371)的一端固定安装有连接块(372),销杆(371)远离连接块(372)的端面设置有第一球面(3711),第一球面(3711)的直径与定模(24)的内腔直径相等;所述第一直齿(32)的一侧固定安装有推杆(36),所述连接块(372)与推杆(36)的滑动连接,推杆(36)上设置有安装座(362),安装座(362)上螺纹连接有调节杆(38),调节杆(38)的末端与连接块(372)转动连接;通过转动调所述调节杆(38)来控制推杆(36)与销杆(371)之间的相对位置,使得当动模(35)与定模(24)合模时,第一球面(3711)的球心与定模(24)的内腔的球心重合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于,所述进料漏斗(23)的上端固定有第二固定架(25),第二固定架(25)的一侧固定连接有第三固定架(26);所述下压机构(4)包括第二直齿(41),第二直齿(41)沿着竖直方向贯穿所述第二固定架(25)的上端部并与第二固定架(25)滑动连接,第二直齿(41)的下端部与所述压块(42)固定连接;

所述第三固定架(26)上固定安装有第二驱动装置(43),第二驱动装置(43)的驱动轴上固定安装有第二齿轮(44),第二齿轮(44)与第二直齿(41)相互啮合;

所述压块(42)上开设有多个排气孔(422)。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于,所述定模(24)背对动模(35)的一侧安装有锁紧机构(5),当动模(35)与定模(24)合模时,锁紧机构(5)用于对动模(35)进行锁紧;所述锁紧机构(5)包括第一安装架(51),第一安装架(51)固定安装在所述底板(1)的上端,且位于定模(24)远离动模(35)的一侧;

所述第一安装架(51)的上端固定安装有挡板(511),第一安装架(51)的上端面上分别开设有第二滑槽(512)和第三滑槽(513),第二滑槽(512)上滑动连接有滑板(52),滑板(52)靠近挡板(511)的一侧面上固定安装有若干导杆(53),导杆(53)穿过挡板(511)并与挡板(511)滑动连接,导杆(53)的外圆上穿有第一弹簧(54),第一弹簧(54)的一端与挡板(511)的侧面固定连接,另一端与滑板(52)的侧面固定连接,当滑板(52)不受其他外力作用时,在第一弹簧(54)的弹力作用下,滑板(52)运动至第二滑槽(512)远离挡板(511)的一端;

所述第一安装架(51)的上端部转动连接有第三齿轮(56),所述滑板(52)上固定安装有第三直齿(55),第三直齿(55)与第三齿轮(56)相互啮合;所述第三滑槽(513)上滑动连接有滑块(58)和卡块(510),滑块(58)位于第三齿轮(56)和卡块(510)之间,滑块(58)与卡块(510)之间安装有第二弹簧(59),第二弹簧(59)的一端与滑块(58)的侧面固定连接,另一端与卡块(510)的侧面固定连接;所述第三齿轮(56)与滑块(58)之间安装有连杆(57),连杆(57)的一端与第三齿轮(56)的上端面转动连接,另一端与滑块(58)铰接;

所述推杆(36)远离所述第一直齿(32)的一端固定连接有固定杆(363),固定杆(363)上开设有若干卡槽(3631);当所述动模(35)与所述定模(24)贴合时,卡块(510)与卡槽(3631)卡合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于,定模(24)的下方安装有抛光机构(6),抛光机构(6)安装在所述底板(1)上端,抛光机构(6)用于实现对铸造成型的绣球表面进行去毛刺处理;所述抛光机构(6)包括抛光底座(62),抛光底座(62)与底板1转动连接,抛光底座(62)的下端部设置有固定槽(622),固定槽(622)呈半球形,锡球成型后落入抛光底座(62)中并与固定槽(622)相配合。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于,所述抛光底座(62)的一侧设置有第二安装架(61),第二安装架(61)与所述底板(1)滑动连接,第二安装架(61)背对抛光底座(62)的一侧固定安装有第三安装架(67),第三安装架(67)与底板(1)固定连接,第三安装架(67)上滑动连接有第四直齿(610),第四直齿(610)的一端与第二安装架(61)固定连接;第三安装架(67)上固定安装有第三驱动装置(68),第三驱动装置(68)的驱动轴上固定安装有第四齿轮(69),第四齿轮(69)与第四直齿(610)相互啮合;

所述第二安装架(61)的上端滑动连接有第五直齿(63),第五直齿(63)沿着竖直方向贯穿第二安装架(61)的上端部,第二安装架(61)上固定安装有第四驱动装置(65),第四驱动装置(65)的驱动轴上固定安装有第五齿轮(66),第五齿轮(66)与第五直齿(63)相互啮合;

所述第五直齿(63)的下端固定安装有压板(64),压板(64)的下端设置能够与锡球表面配合的球面;

所述第二安装架(61)的一侧固定安装有第五驱动装置(611),第五驱动装置(611)的驱动轴上固定连接有第六齿轮(612),所述抛光底座(62)上端部的外圆上设置有外齿轮(621),当所述压板(64)运动到抛光底座(62)的正上方时,外齿轮(621)与第六齿轮(612)相互啮合。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于,所述抛光底座(62)的底部开设有通孔(623)。