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专利号: 2019110555907
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种提升磁控溅射镀膜沉积速率装置,其特征在于,包括真空腔室(3)、设置真空腔室(3)顶部的密封盖(4)、穿设在密封盖(4)上的升降台(5)及固定设置在升降台(5)上的助吸装置(2),所述助吸装置(2)包括吸环(11)、连管(10)及半圆形密封盘(9),所述吸环(11)上均匀分布吸气孔(16),所述连管(10)与吸环(11)相连通,所述半圆形密封盘(9)设置在连管(10)端部位置,所述吸环(11)表面相对位置处设有支撑块(14),所述支撑块(14)上设有紧固螺钉(15),并通过紧固螺钉(15)与升降台(5)相连;

所述升降台(5)外表面设有基准刻度线(12),所述紧固螺钉(15)沿着基准刻度线(12)移动,并紧压在基准刻度线(12)位置,从而调节助吸装置(2)的高度;

所述连管(10)与半圆形密封盘(9)相连的一端的截面采用半圆形,另一端焊接设置在吸环(11)上。

2.根据权利要求1所述的一种提升磁控溅射镀膜沉积速率装置,其特征在于,所述半圆形密封盘(9)采用硅胶材料,且半圆形密封盘(9)与真空腔室(3)内壁相贴合。