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专利号: 2020208880424
申请人: 河源市天和第三代半导体产业技术研究院
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-09-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种垂直结构LED芯片,其特征在于,从下往上依次包括衬底层、粘结层、键合层、保护层、反射层、p‑GaN层、InGaN/GaN多量子阱层、n‑GaN层、钝化层和N电极;其中,反射层包括金属反射层和绝缘反射层,金属反射层的底面与保护层的上面连接,绝缘反射层设置在金属反射层的两端且与保护层连接;所述金属反射层为Ag、Ti和Ni中的一种,所述绝缘反射层为SiO2、Si3N4、TiO2、Ti3O5中的一种。

2.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述粘结层为Cr、Ti、Ni、Al、Pt和Au中的一种,粘结层的总厚度为10nm~1000nm。

3.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述绝缘反射层的层数为15~

45层,绝缘反射层的总厚度为0.5~4um。

4.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述衬底层的材料为硅或碳化硅。

5.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述键合层为AuSn、NiSn、CuSn和AuSi中的一种,键合层的总厚度为1000~9000nm。

6.如权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述N电极的金属为Ti、Cr、Ni、Al、Pt和Au中的一种,N电极的总厚度为500nm~5000nm。