1.一种垂直结构LED芯片,从下至上依次包括衬底层(1)、粘结层(2)、键合层(3)、阻挡层(4)、N电极层(5)、绝缘反射层(6)、欧姆接触层(7)、外延片(8)和分布在外延片(8)外侧的P电极(9),其特征在于,所述外延片(8)从下至上依次包括p-GaN层(801)、InGaN/GaN多量子阱层(802)和n-GaN层(803),所述p-GaN层(801)、InGaN/GaN多量子阱层(802)和n-GaN层(803)设置有连通的隔离槽,所述N电极层(5)上表面设置有N电极(501),所述N电极(501)通过隔离槽穿过绝缘反射层(6)、欧姆接触层(7)、p-GaN层(801)、InGaN/GaN多量子阱层(802),并与n-GaN层(803)形成欧姆接触。
2.根据权利要求1所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述键合层(3)的厚度为
1000nm~9000nm。
3.根据权利要求2所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述N电极层(5)的厚度为
100nm~2000nm。
4.根据权利要求3所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述绝缘反射层(6)包括SiO2、Si3N4和TiO2/Ti3O5。
5.根据权利要求4所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述绝缘反射层(6)的厚度为
0.5um~4um。
6.根据权利要求5所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述欧姆接触层(7)包括SnO2和InO2。
7.根据权利要求6所述的垂直结构LED芯片,其特征在于,所述欧姆接触层(7)厚度为
30nm~300nm。