1.集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，其特征在于，包括固定边框、垂直连接在固定边框内侧的两个对称的扭转梁，以及与扭转梁连接的偏晶向硅基微镜板；所述偏晶向硅基微镜板的正面刻蚀有闪耀光栅，偏晶向硅基微镜板的背面集成有驱动线圈和角度传感线圈；

所述驱动线圈为非封闭矩形单回路，且在供力方向上以扭转梁为中心轴线对称、平行、等间距地条纹状分布，所述角度传感线圈以矩形渐开线形式由里向外分布；

所述偏晶向硅基微镜板里集成有三条埋层引线，其中两条埋层引线穿过一扭转梁分别与驱动线圈的两个开线端相连，另一条埋层引线穿过另一扭转梁与角度传感线圈的内端开线相连；所述偏晶向硅基微镜板的背面集成有表层引线，所述表层引线穿过另一扭转梁与角度传感线圈的外端开线相连；所述表层引线和各所述埋层引线分别对应连接有设于固定边框上的电极。

2.如权利要求1所述的集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，其特征在于，所述角度传感线圈位于驱动线圈的外围或者内侧。

3.如权利要求1所述的集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，其特征在于，所述偏晶向硅基微镜板的正面和背面呈正方形。

4.如权利要求1所述的集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，其特征在于，所述埋层引线和驱动线圈的中间经磁控溅射有AlN材料的绝缘层，用于埋层引线与驱动线圈、角度传感线圈的绝缘。

5.如权利要求1所述的集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，其特征在于，所述闪耀光栅的表面溅射有AlN材料的保护层，所述保护层上溅射有Al材料的反射层。

6.如权利要求1所述的集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，其特征在于，所述扭转梁上靠近且平行于偏晶向硅基微镜板正面的外表面与闪耀光栅的槽底线平齐。

7.如权利要求1所述的集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，其特征在于，所述偏晶向硅基微镜板悬置于固定边框的中部。