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专利号: 2021108524700
申请人: 西南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-21
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种弯折梁,其特征在于:弯折梁两端的梁体为平直结构,中间的梁体多次弯折形成近回形结构,两端平直结构的梁体与中间近回形结构的梁体处于同一轴线上;对于近回形结构中与轴线平行的多段梁体,处于近回形结构内侧的相邻梁体的间距大于外侧相邻梁体的间距。

2.一种电磁式扫描微镜,其特征在于:包括如权利要求1所述的两个弯折梁、固定边框和微镜板,两个弯折梁的轴线与微镜板的轴线共线,两个弯折梁的一端分别连接微镜板,另一端分别连接固定边框,以将微镜板悬置在固定边框内侧,并且能够绕弯折梁的轴线进行偏转。

3.根据权利要求2所述的电磁式扫描微镜,其特征在于:两个弯折梁、固定边框和微镜板的厚度保持一致。

4.根据权利要求2或3所述的电磁式扫描微镜,其特征在于:所述微镜板的背面掏蚀有十字型凹槽。

5.根据权利要求4所述的电磁式扫描微镜,其特征在于:所述十字型凹槽位于微镜板背面的中部,为轴对称结构,在其两个相互垂直的方向上所掏蚀的长度不同,形成短向侧和长向侧。

6.根据权利要求5所述的电磁式扫描微镜,其特征在于:所述十字型凹槽的短向侧与弯折梁共轴线布置,且未贯穿微镜板,长向侧则贯穿微镜板。

7.根据权利要求2所述的电磁式扫描微镜,其特征在于:所述固定边框和微镜板均呈矩形,弯折梁与固定边框共轴线布置。

8.根据权利要求2所述的电磁式扫描微镜,其特征在于:所述固定边框、微镜板和弯折梁通过MEMS技术集成在硅基片上。