1.一种具有漏端肖特基接触的超结MOSFET,其半元胞包括漏极结构、耐压层结构、源极结构和栅极结构,其中耐压层结构位于漏极结构之上,源极结构和栅极结构位于耐压层结构之上;
所述漏极结构包括漏极金属(1)以及N+漏区(2);所述N+漏区(2)位于漏极金属(1)一侧的上表面;所述漏极金属(1)引出端为漏极;
所述耐压层结构包括并列设置的N型漂移区(4)及P型漂移区(3),N型漂移区(4)与P型漂移区(3)构成超结结构;所述P型漂移区(3)位于N+漏区(2)上表面,N型漂移区(4)位于漏极金属(1)上表面,N型漂移区(4)与N+漏区(2)的侧面接触;
所述源极结构包括P型阱区(5)、N+源区(6)、P+短路区(7)和源极金属(8);所述P型阱区(5)位于P型漂移区(3)上表面,且P型阱区(5)沿器件横向方向延伸入N型漂移区(4)上层,N+源区(6)和P+短路区(7)并列设置于P型阱区(5)上层,且N+源区(6)位于靠近N型漂移区(4)的一侧;源极金属(8)位于P+短路区(7)和部分N+源区(6)上表面,源极金属(10)引出端为源极;
所述栅极结构为平面栅,所述平面栅由绝缘介质(9)和位于绝缘介质(9)之上的导电材料(10)构成;所述绝缘介质(9)位于N型漂移区(4)、P型阱区(5)和部分N+源区(6)上表面;导电材料(10)的引出端为栅极;
所述源极金属(1)与N型漂移区(4)形成肖特基接触。