1.一种改善反向恢复特性的超结MOSFET,其元胞包括漏极结构、耐压层结构、源极结构和栅极结构,其中耐压层结构位于漏极结构之上,源极结构和栅极结构位于耐压层结构之上;
所述漏极结构包括漏极金属(1)以及第一N+漏区(2),所述第一N+漏区(2)的上表面与耐压层接触;所述漏极金属(1)上表面与第一N+漏区(2)下表面接触;所述漏极金属(1)引出端为漏极;
所述耐压层结构包括N型漂移区(5)、P型漂移区(3)以及第一绝缘介质(4),所述N型漂移区(5)和P型漂移区(3)并列设置于第一N+漏区(2)上表面,N型漂移区(5)和P型漂移区(3)通过第一绝缘介质(4)隔离;
所述源极结构包括第一P型阱区(7)、第一N+源区(13)、第二P型阱区(6)、P+体接触区(12)、源极金属(15)和第一浮空金属(14);所述第一P型阱区(7)位于N型漂移区(5)的上表面,所述第二P型阱区(6)位于P型漂移区(3)的上表面,第一P型阱区(7)和第二P型阱区(6)之间通过第一绝缘介质(4)隔离;在第一P型阱区(7)上层远离第二P型阱区(6)的一侧具有第一N+源区(13);在第二P型阱区(6)上层靠近第一P型阱区(7)的一侧具有P+体接触区(12),P+体接触区(12)与第一绝缘介质(4)接触;所述源极金属(15)位于第一P型阱区(7)、第一绝缘介质(4)、P+体接触区(12)上表面,源极金属(15)引出端为源极;第一浮空金属(14)位于第一N+源区(13)上表面;
所述栅极结构为沟槽栅,所述沟槽栅由第二绝缘介质(8)和位于第二绝缘介质(8)之中的第一导电材料(9)构成;所述沟槽栅沿器件垂直方向贯穿第一P型阱区(7)后延伸入N型漂移区(5)中,第二绝缘介质(8)与第一N+源区(13)、第一P型阱区(7)和N型漂移区(5)接触;所述第一导电材料(9)的引出端为栅极;
其特征在于,第二P型阱区(6)的上层还具有第二N+源区(11)和第二N+漏区(10),第二N+源区(11)与P+体接触区(12)接触,第二N+漏区(10)位于远离P+体接触区(12)的一侧;还包括第三绝缘介质(16)、第二导电材料(17)和第二浮空金属(18),第三绝缘介质(16)位于第二N+源区(11)和第二N+漏区(10)之间的第二P型阱区(6)的上表面,且第三绝缘介质(16)还向两侧延伸至部分第二N+源区(11)和第二N+漏区(10)的上表面;第二导电材料(17)位于第三绝缘介质(16)上表面,第二导电材料(17)与栅极连接;所述第二浮空金属(18)位于第二N+漏区(10)上表面,第二浮空金属(18)与第一浮空金属(14)相连接;源极金属(15)还延伸至部分第二N+源区(11)的上表面,源极金属(15)与第一P型阱区(7)形成肖特基接触。