1.一种半导体材料表面钝化用预处理装置,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)一侧底部安装有驱动电机(2),所述驱动电机(2)的输出端安装有转轴(20),所述转轴(20)伸入所述箱体(1)内部,且所述转轴(20)位于所述箱体(1)内部的一段外侧固定有第三传动齿轮(21),所述箱体(1)底部安装有固定套(26),所述固定套(26)的顶部与所述第三传动齿轮(21)的位置相对应,所述固定套(26)内部螺纹安装有转动座(34),所述转动座(34)顶部设置有第二转动柱(27),所述第二转动柱(27)两端均安装有第一固定轴(30),所述第二转动柱(27)一端的所述第一固定轴(30)与所述转动座(34)之间固定连接,所述第二转动柱(27)另一端的所述第一固定轴(30)顶部安装有承接座(25),所述第一固定轴(30)外侧均转动安装有摩擦套(24),所述摩擦套(24)与所述第一固定轴(30)之间均安装有单向转动机构,所述第二转动柱(27)两端的所述摩擦套(24)的单向转动方向相反,所述第二转动柱(27)与所述第三传动齿轮(21)之间安装有第一驱动机构,所述承接座(25)顶部转动安装有浸泡箱(4),所述浸泡箱(4)两端顶部均安装有支板(10),所述浸泡箱(4)与所述箱体(1)之间安装有限位机构,所述支板(10)中部安装有往复螺杆(7),所述往复螺杆(7)中部螺纹安装有移动座(8),所述移动座(8)内部贯穿安装有进水管(11),且所述移动座(8)上安装有清洗机构,所述往复螺杆(7)与所述驱动电机(2)同侧的一端外侧固定有传动轴(36),所述传动轴(36)与所述转轴(20)之间安装有第二驱动机构;
所述单向转动机构包括限位槽(31)、第二固定轴(32)、限位块(33)和弹簧(28),所述限位槽(31)沿所述摩擦套(24)内部周向均匀开设,所述限位槽(31)为三角槽,且所述限位槽(31)一半开设在所述第一固定轴(30)外侧,所述第二固定轴(32)安装在所述限位槽(31)位于所述摩擦套(24)一侧的顶部,且所述限位块(33)一端转动安装在所述第二固定轴(32)上,所述弹簧(28)固定在所述限位槽(31)与所述第一固定轴(30)相对的一端顶部,所述弹簧(28)另一端与所述限位块(33)相接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述限位块(33)与所述第一固定轴(30)相对的一侧均为弧形结构,且其弧度与所述第一固定轴(30)的弧度相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述第一驱动机构包括第四传动齿轮(22)、第五传动齿轮(23)和摩擦轮(37),所述第四传动齿轮(22)安装在所述第三传动齿轮(21)一侧,所述第五传动齿轮(23)安装在所述第四传动齿轮(22)一侧,且所述第五传动齿轮(23)顶部同轴安装有摩擦轮(37),所述摩擦轮(37)与所述第二转动柱(27)抵触相接,所述第四传动齿轮(22)和所述第五传动齿轮(23)的高度均与所述第三传动齿轮(21)的高度相对应。
4.根据权利要求3所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述第三传动齿轮(21)、所述第四传动齿轮(22)、和所述第五传动齿轮(23)之间依次啮合。
5.根据权利要求1所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述限位机构包括滑槽(18)、限位柱(5)和滑块(6),所述限位柱(5)固定在所述支板(10)两端外侧,且所述滑块(6)固定在所述支板(10)顶部,所述滑槽(18)开设在所述箱体(1)两端内部,且所述滑槽(18)的位置与所述限位柱(5)的位置相对应。
6.根据权利要求5所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述滑块(6)的截面尺寸与所述滑槽(18)的截面尺寸相匹配,且所述滑块(6)伸入所述滑槽(18)内部。
7.根据权利要求1所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述清洗机构包括密封套(35)、喷头(29)和清洗刷(15),所述清洗刷(15)沿所述移动座(8)底部两侧长度方向均匀设置,所述喷头(29)沿所述移动座(8)底部中间长度方向均匀安装,所述密封套(35)安装在所述移动座(8)与所述往复螺杆(7)相接处外侧。
8.根据权利要求1所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述第二驱动机构包括第一转动柱(19)、第二锥齿轮(12)、第一传动齿轮(13)、第一锥齿轮(14)、第二传动齿轮(16)和固定板(17),所述第一转动柱(19)为周向沿长度方向安装有多个齿条的圆柱,所述第一转动柱(19)安装在所述转轴(20)顶部,所述固定板(17)安装在所述传动轴(36)下方,所述第一传动齿轮(13)和所述第二传动齿轮(16)啮合安装在所述固定板(17)两侧,且所述第一传动齿轮(13)与所述第一转动柱(19)相啮合,所述第二传动齿轮(16)顶部同轴安装有第一锥齿轮(14),所述第二锥齿轮(12)固定在所述传动轴(36)一侧,且所述第二锥齿轮(12)与所述第一锥齿轮(14)之间相啮合。
9.根据权利要求1所述的一种半导体材料表面钝化用预处理装置,其特征在于,所述传动轴(36)与所述往复螺杆(7)相对的一端安装有防脱盖。