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专利号: 2020108538728
申请人: 台州市亿源塑业有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,包括机架(10),其特征在于:所述机架(10)的顶板上安装有提升机构(20),提升机构(20)的提升板(21)处于机架(10)的顶板的正上方,提升板(21)的顶面固定有横向移动机构(30),横向移动机构(30)的横向移动块(31)的顶面固定有连接板(40),连接板(40)的顶面上固定有延伸连接板(41),延伸连接板(41)的端部顶面固定有压紧气缸(42),压紧气缸(42)的推杆穿过延伸连接板(41)的端部底面并固定有导向板(43),导向板(43)的底面中部固定有压紧支撑柱(44),压紧支撑柱(44)的底面固定有防护弹性块(45);

所述晶圆储存盒(100)的顶部设有卡置定位柱(101),卡置定位柱(101)用于与晶圆储存盒(100)上方的安装板(200)进行配合定位,工作时通过防护弹性块(45)压紧卡置定位柱(101),提升分离安装板(200)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,其特征在于:所述提升机构(20)包括提升电机(22),提升电机(22)固定在机架(10)的顶板的底面中部,提升电机(22)的输出轴穿过机架(10)的顶板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套(23),竖直螺杆(24)螺接在竖直螺套(23)中,竖直螺杆(24)的顶端固定有提升板(21)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,其特征在于:所述提升板(21)的底面固定有多个竖直导向杆(25),竖直导向杆(25)插套在机架(10)的顶板上具有的导向通孔(11)中,所有竖直导向杆(25)的底端伸出导向通孔(11)的底面并固定在同一个限位环形块(26)的顶面上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,其特征在于:所述机架(10)的顶板的顶面上固定有多个导向套(12),竖直导向杆(25)插套在对应的导向套(12)中。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,其特征在于:所述横向移动机构(30)包括固定在提升板(21)的顶面的左部和右部的竖直板(32),横向移动螺杆(33)的两端通过轴承铰接在两个竖直板(32)上,其中一个竖直板(32)的外侧壁上固定有移动电机(34),移动电机(34)带动横向移动螺杆(33)转动,横向移动块(31)螺接在横向移动螺杆(33)上。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,其特征在于:两个竖直板(32)之间的提升板(21)的顶面上固定有导向条(1),横向移动块(31)的底面固定有滑块(35),导向条(1)插套在滑块(35)的底面成型有的滑槽中。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,其特征在于:所述导向板(43)的顶面固定有多个上导向杆(46),上导向杆(46)插套在延伸连接板(41)上具有的上导向通孔(411)中。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构,其特征在于:所述延伸连接板(41)的顶面上固定有上导向套体(47),上导向杆(46)插套在对应的上导向套体(47)中。