1.一种晶圆盒，包括箱体（1）和箱盖（2），所述箱体（1）和箱盖（2）活动连接，其特征在于：所述箱盖（2）的内部设有加热腔（3），所述加热腔（3）通过进气阀（4）连接外部换气设备，所述加热腔（3）通过进气通道（5）连通箱体（1）的内腔，所述箱体（1）的底部设有排气阀（6），所述箱体（1）两侧内壁的底端固定安装有托举槽（8），所述箱体（1）的底部设置为斜面，所述排气阀（6）安装在箱体（1）的斜面低端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于：每片晶圆的两侧均设有至少一个所述进气通道（5）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述箱盖（2）的底部设有固定槽（7），所述进气通道（5）连通固定槽（7）两侧的内部空腔，所述固定槽（7）内部空腔通过气孔连通箱体（1）的内腔。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述托举槽（8）的底部一侧设置有斜面。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述固定槽（7）对应托举槽（8）底部斜面的一侧适当延长，所述固定槽（7）的延长段设置有两段斜面，且上段斜面接近竖直。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述排气阀（6）或箱体（1）的最低处设有温度传感器。