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专利号: 2020106513618
申请人: 大同新成新材料股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-17
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体石墨晶圆,其特征在于,包括以下重量份的原料:氧化石墨烯10-20份、乙醇20-30份、硅晶圆、有机硅油1-5份、改性硅铝炭黑1-5份、聚硅氧烷5-10份、聚四氟乙烯5-

10份、氮化硅1-5份、二硫化钼2-7份、聚氨酯丙烯酸酯1-5份、氮化碳1-5份、丙烯酸树脂粉末

3-9份。

2.根据权利要求1所述的一种半导体石墨晶圆,其特征在于,包括以下重量份的原料:氧化石墨烯11-19份、乙醇21-29份、硅晶圆、有机硅油2-4份、改性硅铝炭黑2-4份、聚硅氧烷

6-9份、聚四氟乙烯6-9份、氮化硅2-4份、二硫化钼3-6份、聚氨酯丙烯酸酯2-4份、氮化碳2-4份、丙烯酸树脂粉末4-8份。

3.根据权利要求1所述的一种半导体石墨晶圆,其特征在于,包括以下重量份的原料:氧化石墨烯15份、乙醇25份、硅晶圆、有机硅油3份、改性硅铝炭黑3份、聚硅氧烷7份、聚四氟乙烯7份、氮化硅3份、二硫化钼4份、聚氨酯丙烯酸酯3份、氮化碳3份、丙烯酸树脂粉末6份。

4.一种半导体石墨晶圆的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:将氧化石墨烯加入到乙醇中,配制成浓度0.05-10mg/ml的乙醇溶液;

S2:然后将有机硅油、改性硅铝炭黑、聚硅氧烷、聚四氟乙烯、氮化硅、二硫化钼放进混合设备内进行搅拌混合,制得第一混合物;

S3:将聚氨酯丙烯酸酯、氮化碳、丙烯酸树脂粉末加入到第一混合物中搅拌混合,制得第二混合物;

S4:将第二混合物与乙醇溶液搅拌混合,制得第三混合物;

S5:将第三混合物涂于硅晶圆表面,干燥后置入气氛炉中恒温热处理,得到半导体石墨晶圆。

5.根据权利要求4所述的一种半导体石墨晶圆的制备方法,其特征在于,所述S1中,将氧化石墨烯加入到乙醇中,配制成浓度5mg/ml的乙醇溶液。

6.根据权利要求4所述的一种半导体石墨晶圆的制备方法,其特征在于,所述S2中,将有机硅油、改性硅铝炭黑、聚硅氧烷、聚四氟乙烯、氮化硅、二硫化钼放进混合设备内进行搅拌混合,搅拌速度为300-500r/min,搅拌时间为10-15min,制得第一混合物。

7.根据权利要求4所述的一种半导体石墨晶圆的制备方法,其特征在于,所述S3中,将聚氨酯丙烯酸酯、氮化碳、丙烯酸树脂粉末加入到第一混合物中搅拌混合,搅拌速度为350-

550r/min,搅拌时间为15-20min,制得第二混合物。

8.根据权利要求4所述的一种半导体石墨晶圆的制备方法,其特征在于,所述S4中,将第二混合物与乙醇溶液搅拌混合,搅拌速度为400-600r/min,搅拌时间为20-25min,制得第三混合物。

9.根据权利要求4所述的一种半导体石墨晶圆的制备方法,其特征在于,所述S5中,将第三混合物涂于硅晶圆表面,干燥后置入气氛炉中恒温热处理,气氛炉的气氛为氢气,得到半导体石墨晶圆。

10.根据权利要求4所述的一种半导体石墨晶圆的制备方法,其特征在于,所述S5中,将第三混合物涂于硅晶圆表面,干燥后置入气氛炉中,于200-500°C的温度下恒温热处理40-

60min,得到半导体石墨晶圆。