1.一种基于超声的Micro LED阵列机器人整机,其特征在于:
包括有共用机架(a1)以及设于共用机架(a1)台面上的两个阵列机器人;共用机架(a1)的两边分别设有与对应阵列机器人配合的凹槽式工位(a2);每个阵列机器人:包括底板(1)、通过四个支撑柱连接在底板(1)一端的顶板(2)、设于顶板(2)底面的滑移抓取机构(3)、设于底板(1)上且位于顶板(2)下方的料盘(4)、设于底板(1)另一端的光学良率检测机构(5)以及设于底板(1)上且位于料盘(4)与光学良率检测机构(5)之间的干燥震动机构(6);
所述滑移抓取机构(3)包括设于顶板(2)底面的直线滑移部件(31)、设于直线滑移部件(31)的输出端上的垂直位移部件(32)、设于垂直位移部件(32)的输出端上的超声磁性抓取头(33),所述直线滑移部件(31)用于带动超声磁性抓取头(33)沿水平方向移动,所述垂直位移部件(32)用于带动超声磁性抓取头(33)沿竖直方向移动,所述超声磁性抓取头(33)通过一悬臂(34)连接在垂直位移部件(32)上,所述悬臂(34)的一端连接在垂直位移部件(32)的输出端上,所述悬臂(34)的另一端连接在超声磁性抓取头(33)上;
所述超声磁性抓取头(33)包括压电微动片(331)、第一超声震动器(332)和座体(333),所述压电微动片(331)设于悬臂(34)上,所述第一超声震动器(332)设于压电微动片(331)上,所述座体(333)设于第一超声震动器(332)上,所述座体(333)的底面沿其长度方向间隔排列有多个微震动片(334),每个所述微震动片(334)的自由端均固定有与其长度相匹配的线性磁电极(335),所述线性磁电极(335)具有吸附平面;
所述干燥震动机构(6)包括可控超声震动器(61)、料槽(62)、U形的隔离罩(63)、静压氮气喷板(64),所述可控超声震动器(61)设于底板(1)上,所述料槽(62)设于可控超声震动器(61),所述隔离罩(63)的开口朝下,所述隔离罩(63)的两端固定在可控超声震动器(61)上,所述静压氮气喷板(64)固定在隔离罩(63)的内顶面上并位于料槽(62)的上方;
所述光学良率检测机构(5)包括第二超声震动器(51)、发光源(52)、光学玻璃板(53)、荧光板支架(54)和荧光接收板(55),所述第二超声震动器(51)设于底板(1)上并贴靠可控超声震动器(61)远离料盘(4)的一端,所述第二超声震动器(51)具有容置槽,所述发光源(52)设于容置槽内,所述光学玻璃板(53)固定在容置槽上并位于发光源(52)的上方,所述荧光板支架(54)设于第二超声震动器(51)上,所述荧光接收板(55)设于荧光板支架(54)与光学玻璃板(53)相对的表面上。
2.根据权利要求1所述的基于超声的Micro LED阵列机器人整机,其特征在于,所述线性磁电极(335)的横截面为正八边形,其外接圆直径为Micro LED两引脚间距的2/3;所述线性磁电极(335)的棱角处设有圆角,所述圆角的半径为线性磁电极(335)的外接圆直径的1/
8。
3.根据权利要求1所述的基于超声的Micro LED阵列机器人整机,其特征在于,所述料槽(62)的表面设有一层聚四氟乙烯涂层。
4.根据权利要求1所述的基于超声的Micro LED阵列机器人整机,其特征在于,所述发光源(52)为紫外线光源。
5.根据权利要求1所述的基于超声的Micro LED阵列机器人整机,其特征在于,所述光学良率检测机构(5)还包括分光透镜(56),所述分光透镜(56)设于发光源(52)与光学玻璃板(53)之间。