1.一种硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1步骤包括:S11:将单晶高纯度石英砂:熔融高纯度石英砂:水以质量比为1:(1~2):(1~3)的比例加入球磨机,以金属氧化物为磨球材料,球磨16~20h,制备成粒径D50为6~8μm的石英砂浆料,且所述石英砂浆料的金属杂质含量≤10ppm;S12:将S11所得石英砂浆料与醇系硅溶胶以质量比为10:2~4进行混合、搅拌并均化6~8h后形成均化石英砂浆料,且所述均化石英砂浆料的金属杂质含量≤10ppm;S13:将所述均化石英砂浆料刷涂在所述坩埚内表面,形成高纯度石英砂涂层,且所述刷涂每个坩埚用均化石英砂浆料质量为600~
1200g;其中,所述单晶高纯度石英砂、熔融高纯度石英砂以及高纯度石英砂中Si O2质量分数均≥99.999%;
S2:在所述高纯度石英砂涂层表面制备氮化硅涂层,具体包括:S21:将氮化硅、陶瓷胶、纯水以质量比1:(1~2):1混合均匀,获得氮化硅混合液;S22:将所述氮化硅混合液涂刷在S13获得的高纯度石英砂涂层表面,然后在室温下静置6~8h,获得氮化硅涂层;
S3:在所述氮化硅涂层表面制备陶瓷胶涂层,且所述刷涂每个坩埚用陶瓷胶溶液质量为300~400g;
S4:在所述陶瓷胶涂层表面制备硅颗粒涂层,具体包括:在所述陶瓷胶层表面均匀喷涂一层粒度为30~80目、纯度为99.999%的硅颗粒,然后将所述坩埚在80~100℃下,干燥40~60min,形成硅颗粒层。
2.根据权利要求1所述的硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法,其特征在于,步骤S1中,所述单晶高纯度石英砂、熔融高纯度石英砂的粒度均为50~200目。
3.根据权利要求1所述的硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法,其特征在于,步骤S2中,所述氮化硅粒径D50为2.1~2.3μm、总金属杂质含量≤5ppm、且β相质量百分含量为50%~60%。
4.根据权利要求1所述的硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法,其特征在于,步骤S2中,所述刷涂每个坩埚用氮化硅混合液质量为100~150g。
5.根据权利要求1所述的硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法,其特征在于,步骤S2、S3中,所述陶瓷胶均为质量分数3~8%、聚合度≥8000的聚乙烯醇水溶液。
6.根据权利要求5所述的硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法,其特征在于,所述硅颗粒用量为每个坩埚150~180g。