利索能及
我要发布
收藏
专利号: 201911091941X
申请人: 桂林电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种基于F‑P干涉仪透射反射式增强型相位显微成像测量系统,其特征是:它由激光光源(1)、光衰减系统(2)、激光扩束系统(3)、BS分光棱镜(4)、F‑P干涉仪(5)、显微物镜一(6)和显微镜二(8)、探测相机一(7)和探测相机二(9)、计算机(10)组成,所述系统中,激光光源(1)发出的光经由光衰减系统(2),再通过激光扩束系统(3)扩束后进入到BS分光棱镜(4),该分光棱镜产生两束传播方向垂直的强度相等的激光,分别传至F‑P干涉仪(5)和上方显微镜二(8),传至F‑P干涉仪(5)的光束,在F‑P腔内多次反射后,将置于F‑P腔内的待测物体的光程差成倍放大,从而将其相位信息成倍放大后,携带待测物体信息的透射光传至右方显微物镜一(6),经过显微物镜后传至右方探测相机一(7),再将得到的待测物体信号传输至计算机(10),与此同时,F‑P干涉仪中的反射光同步反射回BS分光棱镜,再通过分光棱镜反射至上方显微镜二(8),反射光通过显微物镜后由上方探测相机二(9)接收,将得到的待测物体的信号传输至计算机(10),最后,在计算机(10)中将得到的两幅图像做出对比,弥补单张图像存在的细节丢失,减少误差。

2.根据权利要求1所述的显微成像测量系统,其特征是:所使用的光路系统中的F‑P干涉仪作为产生成倍光程差的器件,通过光在F‑P腔中的多次反射,每次经过待测物体可以成倍增加光程差,从而显著增大干涉条纹的宽度,达到了提高分辨率的目的。

3.根据权利要求1所述的显微成像测量系统,其特征是:由激光光源(1)、光衰减系统(2)、激光扩束系统(3)、F‑P干涉仪(5)、显微物镜(6)、探测相机(7)、计算机(10),组合为独立的透射式增强型相位显微成像测量系统。

4.根据权利要求1所述的显微成像测量系统,其特征是:由激光光源(1)、光衰减系统(2)、激光扩束系统(3)、BS分光棱镜(4)、F‑P干涉仪(5)、显微镜二(8)、探测相机二(9)、计算机(10),组合为独立的反射式增强型相位显微成像测量系统。

5.根据权利要求2所述的显微成像测量系统,其特征是:所述的F‑P干涉仪,腔体长度不变,待测物体置于腔体中,通过多次反射得到成倍放大的干涉条纹。

6.根据权利要求2所述的显微成像测量系统,其特征是:其产生的透射光和反射光传至不同的显微物镜,产生两幅由同一光源得到的干涉图。