1.一种基于压电陶瓷的透射式增强型相位显微成像测量系统,其特征是:它由激光光源( 1) 、光衰减片( 2) 、激光扩束镜( 3) 、压电陶瓷( 4) 、F‑P干涉仪( 5) 、显微物镜(
6) 、探测相机( 7) 、计算机( 8) 组成,所述系统中,激光光源( 1) 发出的光经由光衰减片( 2) ,再通过激光扩束镜( 3) 扩束后进入到F‑P干涉仪( 5) 中,通过压电陶瓷( 4) 调节F‑P干涉仪的腔长,来控制光束在F‑P干涉仪中传播得到的相位差,从而得到相位差不同的干涉图,提高系统的时间稳定性,实现相干噪声的降低。
2.根据权利要求1所述的显微成像测量系统,其特征是:所使用的光路系统中的F‑P干涉仪作为产生光程差的器件,通过光在F‑P腔中的多次反射,每次经过待测微粒可以增加光程差,从而显著增大干涉条纹的锐利度,达到了提高分辨率的目的。
3.根据权利要求1所述的显微成像测量系统,其特征是:由压电陶瓷得到的不同相位差,对多张条纹图进行分析,可以实现相干噪声的降低。
4.根据权利要求1所述的显微成像测量系统,其特征是:所使用的光路系统中的F‑P干涉仪,腔体长度由压电陶瓷改变,待测物体置于腔体中,通过多次反射得到分辨率更高的干涉条纹。