1.基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置包括激光器1、普通单模光纤2、光纤耦合器3、光功率计4-1、4-2、光纤环形器5、环形芯光纤6、聚焦物镜7、电荷耦合器件(CCD)8、计算机9。所述系统中激光器1发出特定波长的激光经由普通单模光纤2通过光纤耦合器3后分别通过光功率计4-1和光纤环形器5。经过光纤环形器5的光再耦合进环形芯光纤6后照射在待测平面上,所述环形芯光纤6末端具有一定锥角,使得激光经环形芯光纤6传输后在光纤末端附近形成微小的聚焦光斑。通过聚焦物镜7、电荷耦合器件(CCD)8在计算机9上得到探头与待测平面的位置关系图像,可以调整光纤探头到待测平面的距离使得聚焦光斑中心恰好在待测平面上,此时聚焦光在待测平面发生散射,镜面反射光依次经过环形芯光纤6、光纤环形器5被光功率计4-2所探测到,根据表面粗糙度与镜面反射光强的关系得出待测平面的表面粗糙度值。
2.根据权利要求1所述的基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置所采用的环形芯光纤,其特征是:该环形芯光纤也可以是其它具有对称结构的环形阵列芯光纤。
3.根据权利要求1所述的基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置所采用的环形芯光纤,其特征是:环形芯光纤末端可以是锥台形也可以是其它对光线具有聚焦作用的端面结构。
4.根据权利要求1所述的基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置,其特征是:激光器出射光强可以被计算机实时记录,以减小激光器出射光强波动对测量结果的影响。