利索能及
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专利号: 2020102764797
申请人: 桂林电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种超光滑表面粗糙度测量系统。其特征是:它由激光光源、单模光纤、环形器、双芯光纤、高精度位移控制模块、待测样品、物镜、CCD、光电探测器和计算机组成,其中单模光纤和双芯光纤经过FBT后可将单模光纤中的光耦合进入双芯光纤的两个纤芯,双芯光纤的末端端面镀有反射膜,反射膜将双芯光纤其中一路光信号重新耦合至光纤中作为参考光;利用高精度位移模块控制另一路光垂直入射在待测样品表面发生镜面反射和漫反射,其中携带待测样品表面粗糙度信息的镜面反射光将重新耦合进入光纤中作为信号光参考光和信号光在FBT处发生干涉,干涉信号通过单模光纤经环形器3输出,由光电探测器9探测其强度,最终被计算机10采集,经过算法处理得到待测样品的表面粗糙度以及表面形貌图。

2.根据权利要求1所述的一种超光滑表面粗糙度测量系统,其特征是:所述单模光纤与双芯光纤耦合方法可以是FBT,也可以是双芯光纤耦合器。

3.根据权利要求1和权利要求2所述的一种超光滑表面粗糙度测量系统,其特征是:所述单模光纤与双芯光纤耦合之后,双芯光纤两个纤芯的分光比应为1:1左右。

4.根据权利要求1所述的一种超光滑表面粗糙度测量系统。其特征是:所述双芯光纤末端端面镀有反射膜,反射膜可以是金、银等反射系数较高的金属膜。

5.根据权利要求1和权利要求4所述的一种超光滑表面粗糙度测量系统,其特征是:所述反射膜仅覆盖双芯光纤末端端面部分区域,保证双芯光纤其中一路光信号作为参考光重新耦合进入双芯光纤,另一路光信号作为信号光探测待测样品表面粗糙度。

6.根据权利要求1所述的一种超光滑表面粗糙度测量系统。其特征是:所述的高精度位移控制模块5包括高精度位移台以及位移驱动器,其作用是调节待测平面6与双芯光纤出射光垂直以及移动待测平面6得到不同测量点的粗糙度信息。