1.一种强化丸粒的制备方法,其特征在于:使用的粉末颗粒为球形铸钢丸,其粒径为
1mm,靶材为氮化钛合金;
具体工艺过程为:
(1)粉体放置与靶材安装
将待溅射铸铁丸粒放置于样品台上面,在样品台上放置挡板;将氮化钛靶材安装在靶位上,关闭真空室腔门;
(2)抽真空
打开机械泵对真空室抽真空至3Pa,打开真空抽气装置中的分子泵,对真空室抽真空至‑3
2.0×10 Pa;
(3)预溅射靶材
向真空室中充入氩气,至真空腔室内气压维持在0.5Pa,打开靶电源,控制溅射电压
350V,溅射电流0.7A,预溅射靶材15min;
(4)磁控溅射镀膜
移开样品台上的挡板,打开跳动电机的开关,粉体开始上下跳动,控制溅射时间为40 min,电机功率选择中档,实验后测得溅射镀膜的厚度为590nm;
(5)镀膜结束、取样
关闭溅射电源,关闭跳动电机,关闭流量计、分子泵和机械泵,向真空室内充入空气使真空室内压力等于大气压力,打开真空腔室,取出粉体,镀膜结束;
磁控溅射装置包括溅射靶位、样品台、冷却水系统、进气阀和放气阀,样品台包括有容置槽和底架,底架放置样品的一面由跳跃垫组成,其余五个面由框架组成,底架内部排布有多个弹簧,框架和跳跃垫之间放置多个支撑杆,以便跳跃垫在上方保持张紧状态,在向粉体颗粒正式镀膜之前,支撑杆及弹簧为松弛状态;在准备对粉体颗粒正式镀膜时,支撑杆及弹簧进行往复伸缩运动,粉体颗粒开始跳跃;
在位于溅射靶位正对面还设有挡板,冷却水系统放置于溅射靶位内部,样品台、挡板、溅射靶位平行放置,溅射时候,挡板放下,预溅射时候,挡板竖立以防止溅射到样品上。