1.一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)靶材准备：以等原子比的Co20Cr20Fe20Mn20Ni20合金作为靶材；

(2)基体准备：将基体抛光后除杂去污，将基体固定后送入进样室，抽真空以去除基体表面残留的水膜；

(3)预溅射：在溅射腔内清理靶材表面的杂质和氧化物，预溅射过程中通过目镜不断观察电浆的颜色；

(4)传送基体：预溅射完成后升起进样室和溅射腔之间的闸门，将进样室的基体通过传送杆送入溅射腔内，抽出传送杆降落闸门；

(5)溅射腔内抽真空使真空度≤2.5×10-6Pa后，通入氩气，设置溅射条件为氩气流量15～25sccm，工作气压为0.2～0.5Pa，基体转速为50～100r/min，沉积距离10cm，功率为100～

200W，沉积时间30～90min；

(6)打开靶材的挡板再开启电浆，开始溅射；

(7)溅射结束后关闭电浆、氩气和工作气压，保持真空条件下随溅射腔内温度冷却至室温后，取出得到CoCrFeMnNi高熵合金薄膜；

(8)液氮深冷处理10次以上，即得到抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜；所述液氮深冷处理是将步骤(7)所得的CoCrFeMnNi高熵合金薄膜固定，然后将高熵合金薄膜悬浮浸泡在-

196℃的液氮中，深冷处理2h后将高熵合金薄膜取出，在室温下静置1h。

2.根据权利要求1所述的一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述Co20Cr20Fe20Mn20Ni20合金的纯度为99.99％，是经过1000℃保温、均质化处理48h后得到。

3.根据权利要求1所述的一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述基体为不锈钢基体或高碳钢基体。

4.根据权利要求1所述的一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述除杂去污是将基体分别在丙酮、酒精和去离子水中超声清洗15min达到的；所述抽真空要使真空度≤5×10-5Pa。

5.根据权利要求1所述的一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(3)中预溅射的条件为预溅射功率100W，真空度≤2.5×10-6Pa，氩气流量设置为

20sccm，工作气压为0.4Pa。

6.根据权利要求1所述的一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(4)中所述升起进样室和溅射腔之间的闸门的条件必须使进样室的真空度≤2.5×

10-6Pa才可以升起闸门。

7.根据权利要求1所述的一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(5)中所述溅射条件为氩气流量20sccm，工作气压为0.4Pa，基体转速为100r/min，沉积距离10cm，功率为150W；所述氩气是高纯气体，纯度为99.95％。

8.一种根据权利要求1～7任一项所述的制备方法所制得的抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜。