1.一种抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法，其特征在于，该Ti/TiAlYN多层涂层由多个周期的Ti子层和TiAlYN子层组成，先在TC4钛合金基体上沉积一层TiAlYN子层，然后沉积Ti子层，TiAlYN子层和Ti子层依次交替叠加沉积，最外层为TiAlYN子层；

采用通用的多弧离子镀设备，靶材为TiAlY靶和纯Ti靶，氩气为工作气体，氮气为反应气体，包括如下步骤：

（1）基体清洗

将研磨、抛光处理好的基体样品经超声清洗后吹干，挂在多弧离子镀真空室内的样品架上，进行辉光清洗；

（2）交替沉积TiAlYN子层和Ti子层在步骤（1）进行基体清洗以后，进行TiAlYN子层和Ti子层的交替沉积：首先沉积TiAlYN子层，关闭氩气流量计并通入氮气，基体施加偏压，打开TiAlY靶材电流；之后进行Ti子层沉积，关闭TiAlY靶材电流，通入氩气，切断氮气，基体施加偏压，打开Ti靶材电流，进行Ti子层沉积；

（3）最外层TiAlYN子层沉积在步骤（2）最后一层Ti子层沉积完毕后，再沉积一层TiAlYN最外层，关闭Ti靶电流和氩气流量计，通入氮气，基体施加负偏压值，打开TiAlY靶材电流，进行最外层TiAlYN子层沉积；

步骤（2）中：在进行TiAlYN子层沉积时，维持真空室气压在2.0 2.5Pa，脉冲负偏压值为~

550 600V，占空比为20% 25%，靶材电流为60 80A，沉积时间为8 10min；在进行Ti子层沉积~ ~ ~ ~

时，通入氩气，关闭氮气，真空度维持在0.3 0.5Pa，基体施加负偏压值为150 200V，占空比~ ~

为20% 30%，靶材电流为60 80A，沉积时间为0.5 7min；

~ ~ ~

步骤（3）最外层TiAlYN沉积时，维持真空室气压在2.0 2.5Pa，脉冲负偏压值为550~ ~

600V，占空比为20% 25%，靶材电流为60 80A，沉积时间为19 20min。

~ ~ ~

2.按照权利要求1所述的抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法，其特征在于，位于内层的每个TiAlYN子层的厚度为1.0 3.0μm，最外层TiAlYN厚度为3.0 5.0μm，每~ ~

个Ti子层厚度为0.05 0.65μm，Ti/TiAlYN多层涂层的层数为11 21层中的奇数。

~ ~

3.按照权利要求1所述的抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法，其特征在于，优选的，Ti/TiAlYN多层涂层的总厚度为14.3 17.8μm。

~

4.按照权利要求1所述的抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，基体为TC4钛合金，采用尺寸为10 20×5 15×1 3mm的块体；基体清洗过~ ~ ~

程是将抛光好的基体放入丙酮和乙醇溶液中，超声清洗10 20min，用吹风机吹干后挂在真~

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空室的样品架上，待真空室气压到9.0×10 Pa以下后，通入氩气，维持真空度在0.2 0.4Pa，~

基体施加负偏压值为800 1000V，占空比为60 80%，对基体进行10 30min的氩离子辉光清~ ~ ~

洗。

5.按照权利要求1所述的抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，TiAlY靶材原子比Ti:Al:Y=10:9:1，直径为80 120mm，高度为50 70mm；Ti~ ~

靶纯度为99.99wt%，直径为80 120mm，高度为50 70mm，靶材基体距离为180 220mm；TiAlYN~ ~ ~

子层中，原子比Ti: Al:Y:N=10:9:1:20。

6.按照权利要求1所述的抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法，其特征在于，步骤（2）和步骤（3）中，基体加热温度为180 220℃。

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7.按照权利要求1所述的抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法，其特征在于，步骤（1）至（3）中，样品架转速为5 15rpm。

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