1.基于石墨烯压阻效应的微波功率传感器,其特征在于,包括衬底、共面波导传输线、质量块、固支梁和石墨烯压阻块;衬底上中间设置共面波导传输线且衬底上两边设置地线,固支梁固定在地线上且共面波导传输线位于固支梁下方;质量块位于固支梁上方,石墨烯压阻块位于共面波导传输线和固支梁中间;石墨烯压阻块的一端通过第一传输线与电流输入端口相连,石墨烯压阻块的另一端通过第二传输线与电流输出端口相连。
2.根据权利要求1所述的基于石墨烯压阻效应的微波功率传感器,其特征在于,所述电流输入端口和电流输出端口用于与电压源连接并构成回路,通过测量电流的变化量计算共面波导传输线上传输的微波功率的大小。
3.根据权利要求1所述的基于石墨烯压阻效应的微波功率传感器,其特征在于,所述质量块由铜、镍或铝制成的金属质量块。
4.根据权利要求1所述的基于石墨烯压阻效应的微波功率传感器,其特征在于,所述固支梁为弱掺杂的单晶硅或单晶锗制成的固支梁。
5.根据权利要求1所述的基于石墨烯压阻效应的微波功率传感器,其特征在于,所述衬底的材质为氮化镓,电子迁移率高,适合做高频。
6.根据权利要求1所述的基于石墨烯压阻效应的微波功率传感器,其特征在于,所述微波功率传感器采用MEMS平面加工方法制得。