利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2023114187559
申请人: 河北工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种基于双层亚波长光栅的石墨烯生物传感器,其特征在于,包括:上亚波长光栅(1)、下亚波长光栅(2);该两个亚波长光栅镜面对称设置,两者形成的中间间隙构成检测物质通道(3);

在所述上亚波长光栅(1)、下亚波长光栅(2)的内表面均设置有石墨烯层(4);

检测物质通过所述检测物质通道(3)呈水平方向流动,入射至所述上亚波长光栅(1)的光线方向与所述检测物质通道(3)的方向垂直;

所述上亚波长光栅(1)包括:上波导层(11)和设置在该上波导层(11)上的若干上光栅层(12),所述石墨烯层(4)分别设置在所述上波导层(11)和上光栅层(12)上;

所述下亚波长光栅(2)包括:下波导层(22)和设置在该下波导层(22)上的若干下光栅层(21),所述石墨烯层(4)分别设置在所述下波导层(22)和下光栅层(21)上;

在所述下亚波长光栅(2)的外侧底面设置有银衬底(5);

所述上光栅层(12)、下光栅层(21)的厚度dg均为220nm、宽度W=357nm;所述上波导层(11)、下波导层(22)的厚度均为L=2235nm;检测物质通道(3)宽度H=2000nm。

2.根据权利要求1所述的基于双层亚波长光栅的石墨烯生物传感器,其特征在于,双层亚波长光栅结构的单个周期P=960nm。

3.根据权利要求1所述的基于双层亚波长光栅的石墨烯生物传感器,其特征在于,所述上光栅层(12)、下光栅层(21)为折射率3.48的Si,所述上波导层(11)、下波导层(22)为折射率1.46的二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的基于双层亚波长光栅的石墨烯生物传感器,其特征在于,所述石墨烯层(4)的厚度为0.34nm。

5.根据权利要求1所述的基于双层亚波长光栅的石墨烯生物传感器,其特征在于,所述银衬底(5)的厚度为100nm。