1.三通道微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线、地线、电容极板、敏感元件、悬臂梁、负载电阻和热电堆，其特征在于：所述共面波导传输线设置在衬底上，其两侧设有地线，其中一侧的地线连接有地线输出端；

所述共面波导传输线的末端与其中一侧的地线之间连接负载电阻，所述负载电阻的另一侧设有热电堆，所述热点堆的两端分别与直流输出端相连；

所述敏感元件嵌入衬底中位于共面波导传输线的下面，所述敏感元件上设有探头，其穿过共面波导传输线使得敏感元件与外界相连；

所述敏感元件下方还有一个矩形的金属薄膜嵌入在衬底中与共面波导传输线相平行；

所述悬臂梁设置在共面波导传输线的上方，在悬臂梁的下面设置电容极板，所述电容极板具体位于悬臂梁底座和共面波导传输线之间，并连接有电容信号输出端。

2.根据权利要求1所述的三通道微波功率传感器，其特征在于：所述衬底的材质为砷化镓。

3.根据权利要求1所述的三通道微波功率传感器，其特征在于：所述电容极板安置于悬臂梁的下方，位于共面波导传输线的一侧，当微波信号进入时，会产生静电力使悬臂梁弯曲，从而导致悬臂梁与下方电容极板的距离发生变化，最终使得电容发生变化，通过测量电容信号输出端和地线输出端之间电容的改变量即可算出微波功率。

4.根据权利要求1所述的三通道微波功率传感器，其特征在于：当微波信号进入共面波导传输线的时候，会加热硅制敏感元件内部的电子，电子的热运动状态发生变化时会引起材料本身的阻值发生变化，通过探头测量阻值的变化量即可得到微波功率。

5.根据权利要求1所述的三通道微波功率传感器，其特征在于：所述负载电阻传输共面波导传输线馈送的微波功率并把微波功率转化成热量，从而使热电堆两端产生温差，由于Seebeck效应，即可通过测量热电堆在直流输出端产生直流电压差从而探测微波功率。